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RMAP マルチアクシスペリスコープ

マルチアクシスペリスコープで XY ステージの 6 自由度測定

XY ステージの 6 自由度を、複数の干渉計から照射されるビームの照射面積を最小限に抑えて測定する設計です。RLD10-X3-DI 干渉計ヘッドと組み合わせて、ピッチ、ヨーおよび直線上の位置を測定します。

マルチアクシスペリスコープの角度測定範囲は±30arc 秒で、高性能ステージと互換性があるため、ステージのさらなる最適化に貢献します。取付け面は 1 面であるため、真空室または測定対象のフレームに簡単に取付けできます。

角度測定に RLD10-X3-DI ヘッドを用いることで、レーザー周波数の変動や環境変化が原因で発生する誤差を、2 本のパスで同じにできます。2 本の独立したビームを基に算出する角度偏差と比較して、精度や繰り返し再現性を向上しています。

RMAP-3A マルチアクシスペリスコープ

特長とメリット

  • コンパクトなビーム照射面積: 照射面積は 18mm×35mm に抑えているため、ターゲットミラーのサイズと重量を最小限に抑制
  • 取付けの簡易さ: 真空室の外側に直接 4 本のボルトで固定
  • 高性能: RLD10-X3-DI ヘッドをそれぞれ別々に使用するため、従来の方式よりも精度と繰り返し再現性を向上

製品情報