RLD10 干渉計非内蔵型
レニショー独自の使いやすさと高性能さを兼ね備えた光ファイバ送出システムに、個別要件に特化した光学構成を融合
RLD には、レニショー独自のマルチチャンネル干渉縞検出機構、レーザーシャッタ、ビームステアラを内蔵しているため、専門的な用途に簡単に導入できます。
RLD10-XX ヘッドは 0°バージョンのみです。
特徴とメリット
- カスタム光学システム - 光学部品を内蔵していないため、さまざまな場面に合わせて外付けの光学部品を構成できます。
- キャリブレーション測定 - レニショーの各種キャリブレーション用光学部品との使用に適しており、真直度や角度、位置決め測定が可能です。
- 真空対応 - 2 形状間の相対測定用の RVI20 にも対応しています。
仕様
| 平面鏡使用時 | 反射鏡使用時 | |
| 軸長 | 0m～1m | 0m～4m |
| 分解能 (RLU 使用時) | アナログ = λ/4 (158nm) デジタル = 10nm RPI20 分解能 = 38.6pm | アナログ = λ/2 (316nm) デジタル = 20nm RPI20 分解能 = 77.2pm |
システム非直線性誤差* (周期誤差) *インターフェースを除く | 信号強度>70%、50mm/sec 未満で<±2.5nm 信号強度>50%、1m/sec で<±7.5nm | 信号強度>70%、100mm/sec 未満で<±5nm 信号強度>50%、2m/sec で<±13nm |
| 最高速度 | 1m/sec | 2m/sec |
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