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RLD10 干渉計非内蔵型

用途に最適な光学構成に、レニショー独自の使いやすく高性能な光ファイバ送出システムを応用

RLD には、レニショー独自のマルチチャンネル干渉縞検出機構、レーザーシャッタ、ビームステアラを内蔵しているため、専門的な用途に簡単に導入できます。

RLD10-XX ヘッドは 0°バージョンのみです。

特長とメリット

  • カスタム光学システム: 光学部品を内蔵していないため、さまざまな場面に合わせて外付けの光学部品を構成可能
  • キャリブレーション測定: レニショーの各種キャリブレーション用光学部品との使用に適しており、真直度や角度、位置決め測定が可能
  • 真空対応: 2 形状間の相対測定用の RVI20 にも対応

仕様 

 平面鏡使用時反射鏡使用時
軸長0m~1m0m~4m
分解能 (RLU 使用時)アナログ=λ/4 (158nm)
デジタル=10nm
RPI20 分解能=38.6pm
アナログ=λ/2 (316nm)
デジタル=20nm
RPI20 分解能=77.2pm

システム非直線性誤差* (周期誤差)

*インターフェースを除く

 信号強度>70%、50mm/sec 未満で<±2.5nm
信号強度>50%、1m/sec で<±7.5nm
 信号強度>70%、100mm/sec 未満で<±5nm
信号強度>50%、2m/sec で<±13nm
最高速度1m/sec2m/sec

製品情報