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RLU (光ファイバ送出機構内蔵のコンパクトレーザーユニット)

レニショーのレーザーエンコーダは、変位干渉計の究極のパフォーマンスと、従来のテープスケールまたはガラススケール等のエンコーダのような取り付けやすさを兼ね備えています。

RLE システム

RLE システムは、位置決めフィードバックのために特別に設計した、レニショー独自の最先端ホモダインレーザー干渉計システムです。RLE システムは、RLU レーザーユニットRLD10 ディテクタヘッドで構成されます。どのモデルを使用するかは、ニーズによって変わります。

1 軸 あるいは 2 軸構成が可能なレーザーユニットです。HeNe (ヘリウムネオン) レーザー光源、安定化電子回路、光ファイバ送出機構、および軸の位置決めフィードバック回路が組み込まれています。

レニショーのエンコーダを使用することで、顧客が求める仕様を常に上回り続けています。顧客には、クラスで最高の経験を提供できるよう努めています。我々が成功を収められている理由のひとつは、レニショーのような企業が提供してくれる技術革新にあります。

Aerotech 社 (米国)

レーザーユニットには、性能の異なる 2 種類のバージョンがあります。

RLU10 レーザーユニット

RLU10 は、1 時間以上の±50ppb のレーザー周波数安定性を誇ります。大気中測定の大半に適します。

特長とメリット

RLU10 を、要件に適したレニショーディテクタヘッド (RLD) と組み合わせた場合の機能と利点を、下記に記載します。

  • シンプルなシステム構成: レニショー独自の光ファイバ送出システムを活用
  • 高速アライメント: RLD ディテクタヘッドにより、測定軸にレーザービームを直接取付け可能
  • コンパクトで簡単セットアップ: 最小の取付け領域で最短時間で取付け可能

RLU10 の概要

ファイバ長3m または 6m*
軸数1 軸または 2 軸*
レーザー光源クラス 2 HeNe (ヘリウムネオン)
出力アナログまたはデジタル
速度最高 2m/s**

 *出荷時設定
**バージョンまたは分解能に依存

RLU10 の性能

レーザー周波数安定性 (1 分)

‹±10ppb

レーザー周波数安定性 (1 時間)

‹±50ppb

レーザー周波数安定性 (8 時間)

‹±50ppb

真空波長安定性 (3 年以上)

±0.1ppm

XY ステージでの使用

大気環境下での、XY ステージ測定に最適なレーザーエンコーダをお探しですか。RLU10 レーザーユニットと 2 個の RLD10-A3-P9 (90°平面鏡干渉計) ヘッドで構成される RLE10-DX-XG システムを、ご検討ください。

RLU20 レーザーユニット

RLU20 は、1 時間以上の±2ppb のレーザー周波数安定性を誇ります。真空環境の大半で、極めて優れた測定パフォーマンスを発揮します。

特長とメリット

RLU20 を、要件に適したレニショーディテクタヘッド (RLD) と組み合わせた場合の機能と利点を、下記に記載します。

  • シンプルなシステム構成: レニショー独自の光ファイバ送出システムを活用
  • 高速アライメント: RLD ディテクタヘッドにより、測定軸にレーザービームを直接取付け可能
  • コンパクトで簡単セットアップ: 最小の取付け領域で最短時間で取付け可能

RLU20 の概要

ファイバ長3m のみ*
軸数1 軸または 2 軸*
レーザー光源クラス 2 HeNe (ヘリウムネオン)
出力アナログまたはデジタル
速度最高 2m/s**

 

*出荷時設定
**バージョンまたは分解能に依存

RLU20 の性能

レーザー周波数安定性 (1 分)‹±1ppb
レーザー周波数安定性 (1 時間)‹±2ppb
レーザー周波数安定性 (8 時間)‹±20ppb
真空波長安定性 (3 年以上)±0.1ppm

ディファレンシャル測定での使用

真空環境下での、ディファレンシャル測定に最適なレーザーエンコーダをお探しですか。RLU20 レーザーユニットと 2 台の RLD10-X3-DI (ディファレンシャル干渉計) ヘッドで構成される RLE20-DX-XP システムを、ご検討ください。

RLE システムの構築

レニショーレーザーヘッドを変位干渉計として動作させるには、用途に適したヘッドと組み合わせる必要があります。RLE システムの構築時には、下記をご検討ください。

  • レーザー光源 (RLU10 か RLU20)
  • ファイバ長 3m または 6m (RLE10 のみ)
  • 校正証書 (オプション、有償発行)
  • 平面鏡または反射鏡のターゲット光学部品
  • 各軸に対する RLD ディテクタヘッドのタイプ
  • 各軸のビーム出力方向 (ディファレンシャル干渉計ヘッドの場合は不要)

パーツ番号ジェネレータに要件を入力して、必要な、RLE レーザーエンコーダシステムのパーツ番号を判定してください。パーツ番号が自動的に算出されます。見積りと発注にご利用ください。

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