RLD10 ディファレンシャル干渉計
定義済み参照を基準にした測定を行うディファレンシャル干渉計
ディファレンシャルヘッドは、周期誤差を低く抑える独自の光学機構を有しています。内蔵しているビームステアラにより、セットアップ中にピッチとヨーの調整が可能なため、効率的にアライメント作業を行えます (平面鏡使用時のみ)。
RLD10-X3-DI ディテクタヘッドは、シンプルな 3 ピンマウントを使って処置室の外壁に取り付けます。ディテクタヘッドのアライメント調整のために室内に入る必要はありません。内蔵のビームステアラを使って参照ビームと測定ビームのピッチとヨーを個別に調整できます。さらに、この取付け方法のおかげで、ディテクタヘッドを外して再配置してもシステムのアライメント調整にほとんど影響が及びません。
特徴とメリット
- 優れた測定性能 - ppb 級の周波数安定性と超低周期誤差により、38.6pm の出力分解能を達成
- ディファレンシャル構成 - コラムを基準にしたステージの相対位置を測定するため、環境変化に伴う壁の動きなどの同相モード誤差の影響ゼロ
- 高速アライメント - 4 個の内蔵ビームステアラで真空室外から簡単にアライメント調整して、真空室とミラーの取付け公差に対応可能
仕様
| 軸長 | 0m～1m |
| 分解能 (RLU 使用時) | アナログ = λ/4 (158nm) デジタル = 10nm RPI20 分解能 = 38.6pm |
システム非直線性誤差* (周期誤差) *インターフェースを除く | 信号強度>70%、50mm/sec 未満で<±1nm 信号強度>50%、1m/sec で<±6nm |
| 最高速度 | 1m/s |
多くの場合、ディファレンシャル干渉計ディテクタヘッドは、RLU20 と組み合わせます。ディファレンシャル干渉計ヘッドの性能だけでなく、RLU20 レーザー光源の高い安定性は、真空室や厳密に制御した環境での測定に最適です。
製品情報
関連製品
