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光ファイバレーザーエンコーダ製品

RLU 2 軸レーザーユニット RLU10 レーザーユニット

RLU10 は、1 時間以上の±50ppb のレーザー周波数安定性を誇ります。大気中測定の大半に活用可能な、コストパフォーマンスのよいシステムです。

RLU 2 軸レーザーユニット RLU20 レーザーユニット

真空など、極めて高い測定パフォーマンスが求められる測定用です。RLU20 は、1 時間あたり±2ppb のレーザー周波数安定性を誇ります。

出力方向 0°の RLD10 ディテクターヘッド RLD10 平面鏡干渉計

平面鏡が必要な場面 (XY ステージなど) に最適な、ダブルパス干渉計です。 

RLD10 反射鏡干渉計 RLD10 反射鏡干渉計

反射鏡が必要な場面 (長距離や高速など) 用に構成されたシングルパス干渉計です。

RLD10-X3-DI ディファレンシャル干渉計とミラー RLD10 ディファレンシャル干渉計

ディファレンシャル測定用に設計されたダブルパス干渉計システムです。真空室に最適です。

出力方向 0°の RLD10 ディテクターヘッド RLD10 干渉計非内蔵型

干渉計を内蔵していないため、ヘッドを専用光学部品と順に併用して、位置決め計測、角度計測、真直度計測を行えます。 

RCU10 環境補正ユニットとセンサー RCU10 リアルタイム環境補正システム

環境センサーを通じて機械の周囲環境をモニタし、リアルタイムで位置決めフィードバック信号の補正を行います。

RPI20 パラレルインターフェース RPI20 パラレルインターフェース

受信したディファレンシャルアナログ信号 1Vpp Sin/Cos に 4096 逓倍の内挿分割を行い、速度 1m/s で分解能 38.6pm の 36bit パラレルフォーマットの出力を行います。

RLI20-P レーザーインターフェース - Panasonic RLI20-P レーザーインターフェース: Panasonic

RLE システムから出力された 1Vpp Sin/Cos を使用して、Panasonic (MINAS A5 シリーズ) コントローラとの通信を仲介します。 

RSU10 USB インターフェース RSU10 USB インターフェース

RLE システムからアナログ 1Vpp Sin/Cos を受信し、16,384 逓倍の内挿分割を行い、USB ポート経由で位置決め信号を出力します。

REE インターフェース REE インターポレータ

低レベルの信号内挿分割用のシンプルな「プラグ&プレイ」機器です。デジタル矩形波出力信号の分解能を 20 倍以上に向上できます。

レニショーのマウントの平面鏡 ミラーとアクセサリ

調整が簡単なマウントを装着した高反射性の平面鏡や、信号強度の低下を最小限に抑える真空室ウィンドウです。レーザーエンコーダシステムの性能を最大限まで高めために、使用します。

15mm DI ペリスコープアセンブリ 15mm DI ペリスコープアセンブリ

ペリスコープアセンブリは、RLD10-X3-DI ディファレンシャル干渉計ディテクタヘッドの測定ビームと参照ビーム同士の距離を離します。

真空対応の RVI20 干渉計 RVI20 真空対応干渉計

RLD10-A3-XX ディテクタヘッドと使用して、測定パス全体を真空環境内で保持します。

RMAP マルチアクシスペリスコープ

RMAP-3A マルチアクシスペリスコープ RLD10-X3-DI 干渉計ヘッドと組み合わせてピッチ、ヨーおよびロールを高精度で測定します。XY ステージにおける 6 自由度の測定が可能です。