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RLD10 反射鏡干渉計

長距離用途や高速性が求められる場面に最適な反射鏡干渉計

RLD10 ディテクタヘッドは、干渉計光学部品、レニショー独自のマルチチャンネル干渉縞検出機構、レーザーシャッター、ビームステアラを内蔵しています。出力方向が 0°と 90°の 2 種類があります。

特長とメリット

  • 複数軸システム: 1 軸または 2 軸システムで複数軸が必要な場面に最適
  • 長距離と高速性: 反射鏡を採用しているため、平面鏡では不適な、長距離用途や高速性が求められる場面に最適
  • 繊細な環境: ローパワーバージョンもラインナップしているため、標準 RLD10 の仕様消費電力<2W よりも低い電力消費が求められる用途に最適

仕様 

軸長0m~4m
分解能 (RLU 使用時)

アナログ=λ/2 (316nm)
デジタル=20nm
RPI20 分解能=77.2pm

システム非直線性誤差* (周期誤差)

*インターフェースを除く

信号強度>70%、100mm/sec 未満で<±5nm
信号強度>50%、2m/sec で<±13nm
最高速度2m/sec

4m を超える軸については、60m まで測定可能な HS20 レーザーエンコーダをご覧ください。

真空以外の環境では、環境が変化しても精度を維持できるよう、何らかの方法で空気の屈折率補正を行う必要があります。この補正を行うために、レニショーは、RCU10 リアルタイム環境補正システムを用意しています。当社が提供する反射鏡は、真空または真空に近い状態の環境には適さない可能性があります。

RLE システムと RPI20 パラレルインターフェースを組み合わせることで、最高分解能 38.6pm を達成できます (平面鏡システム構成)。高分解能のデジタル出力として、レニショーの REE インターポレータが、最高 0.395nm の分解能を達成できます (平面鏡システム構成)。このインターフェースは、ディファレンシャルのアナログ信号 1Vpp Sin/Cos を受信し、パラレルフォーマットで出力します。アクセサリの詳細については、RCU10 環境補正システム およびレーザーエンコーダインターフェースをご覧ください。

製品情報