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RLD10 平面鏡干渉計

XY ステージに最適な平面鏡干渉計

RLD10 ディテクタヘッドは、干渉計光学部品、レニショー独自のマルチチャンネル干渉縞検出機構、レーザーシャッター、ビームステアラを内蔵しています。出力方向が 0°と 90°の 2 種類があります。

特長とメリット

  • 2 軸システム: XY ステージに最適な 2 軸平面鏡システム
  • 高分解能: 反射鏡システムよりも高分解能が求められる場面に最適
  • 繊細な環境: ローパワーバージョンもラインナップ。標準 RLD10 の仕様消費電力<2W よりも低い電力消費が求められる用途に最適
ミラーを装備した RLD ディテクターヘッド

仕様

軸長0m~1m
分解能 (RLU 使用時)

アナログ = λ/4 (158nm)
デジタル = 10nm
RPI20 分解能 = 38.6pm

システム非直線性誤差* (周期誤差)

*インターフェースを除く

信号強度>70%、50mm/sec 未満で<±2.5nm
信号強度>50%、1m/sec で<±7.5nm
最高速度1m/sec


真空以外の環境では、環境が変化しても精度を維持できるよう、何らかの方法で空気の屈折率補正を行う必要があります。この補正を行うために、レニショーは、RCU10 リアルタイム環境補正システムを用意しています。

RLE システムと RPI20 パラレルインターフェースを組み合わせることで、最高分解能 38.6pm を達成できます。このインターフェースは、ディファレンシャルのアナログ信号 1Vpp Sin/Cos を受信し、パラレルフォーマットで出力します。アクセサリの詳細については、RCU10 環境補正システム およびレーザーエンコーダインターフェースをご覧ください。

製品情報