レーザーエンコーダインターフェース
高分解能のレーザーインターフェースです。
RPI30 パラレルインターフェース
RPI30 は、入力したディファレンシャルアナログ (1Vpp Sin/Cos) 信号を 4096 逓倍し、最大 36bit のパラレルフォーマットで位置データを出力するインターフェースです。ダブルパス平面鏡干渉計と組み合わせることで (サイン波の基礎周期が公称 158nm)、最高速度 2m/sec で 38.6pm の分解能が実現します。
アクティブなリサジュ補正により、レーザーエンコーダから取得した DC オフセットや AC ミスマッチを補正し、低速度では±0.1nm の周期誤差を達成できます。
特徴とメリット
- 高精度 - 低周期誤差 (<±0.1nm)
- アクティブな周期誤差補正 - 位置測定結果の誤差を低減
- 位置データ - RLE から入力した 1Vpp アナログ信号をパラレルバス経由で位置データに変換
- アクティブなアップデート - DC オフセットと AC ミスマッチ
- 容易なアクセス - ソフトウェア接続でリモートダウンロードと解析が可能
- 複数軸対応 - LVTTL (3.0V) 対応のバスで 2 軸の位置データとステータスを出力
- 通信プロトコル - 36bit 位置データ (2 の補数) と最下位ビットの選定
- ライブステータス- 信号強度とエラーフラグ含む
仕様
| 平面鏡システム | 反射鏡システム | |
| 分解能 | 38.6、77.2、154.4、308.8pm | 77.2、154.4、308.8、617.6pm |
| 最高速度 | 2m/s | 4m/s |
| 出力信号 | 36bit (2 の補数) | 36bit (2 の補数) |
| 周期誤差* の影響 (RLE 除く、補正無効時) | 平面鏡 - PMI | 反射鏡 - RRI |
| 速度 <50mm/s (PMI) 速度 <100mm/s (RRI) 信号強度 >25% | <±0.5nm | <±1.0nm |
| 速度 >50mm/s、<2m/s 速度 >100mm/s、<4m/s | <±2.0nm | <±4.0nm |
| 周期誤差* (RLE 含む、補正有効時) | 平面鏡 - PMI | 反射鏡 - RRI |
| 速度 <50mm/s (PMI) 速度 <100mm/s (RRI) 信号強度 >50% | <±0.1nm | <±0.2nm |
RPI20 パラレルインターフェース
RPI20 は、RLE レーザー干渉計エンコーダが出力した 1Vpp アナログ信号を、パラレルワードフォーマットの超高分解能 (4096 逓倍) 位置フィーバックに変換します。
特徴とメリット
- 高分解能 - アナログ信号を、最高 4096 逓倍に内挿分割
- 複数軸対応 - 1 本のバスで 7 軸対応可能
- 高速通信 - 6.5MHz 未満の入力帯域幅と 36bit のパラレル形式での出力
- 高精度 - 低周期誤差 (<±0.5nm)
RPI20 を、VME システム環境で使用できるようにするためのオプションの 2 軸 VME ホスト基板です。
仕様
| 分解能 | 38.6pm (平面鏡システム) 77.2pm (反射鏡システム) |
| 最高速度 | 1m/s (平面鏡システム) 2m/s (反射鏡システム) |
| 出力信号 | 36bit パラレルワード |
PMI | PMI | RRI | RRI | |
| 速度 | <50mm/s | <1m/s | <100mm/s | <2m/s |
| 周期誤差* | 0.5nm | 2nm | 1nm | 4nm |
RLI20-P レーザーインターフェース - Panasonic
RLI20-P は、レニショーレーザーエンコーダシステムと Panasonic コントローラ (MINAS A5-SERIES) 用の通信インターフェースです。レーザーエンコーダから出力される 1Vpp アナログ信号が高速で内挿分割され、その後 RS485 形式のインクリメンタル位置信号として出力されます。
特徴とメリット
- Panasonic との互換性 - Panasonic コントローラに対応 (MINAS A5-SERIES)
- 高速通信 - 内部位置情報を高速更新 (100MHz)
- 高精度 - 低周期誤差 (<±0.5nm)
仕様
| 分解能 | 1nm (平面鏡システム) 2nm (反射鏡システム) |
| 最高速度 | 1m/s (平面鏡システム) 2m/s (反射鏡システム) |
| 出力信号 | 2.5Mbps RS485、Panasonic MINAS A5 シリーズのコントローラに対応 |
PMI | PMI | RRI | RRI | |
| 速度 | <50mm/s | <1m/s | <100mm/s | <2m/s |
| 周期誤差* | 0.5nm | 2nm | 1nm | 4nm |
RSU10 USB インターフェース
RSU10 USB インターフェース は、RLE システムからアナログ信号 (1Vpp Sin/Cos) を受信し、16,384 逓倍の内挿分割を行い、USB ポート経由で位置データを出力します。
RSU10 を使用することで、レニショーのキャリブレーションソフトウェア (LaserXL および QuickViewXL) で測定データの確認が可能です。リアルタイムの動的測定データの表示と解析に理想的です。
RSU10 には、最大出力更新速度が 20Hz のソフトウェア開発キット (SDK) が付属します。SDK を使うと、非標準機能を搭載したソフトウェアが開発できます。
特徴とメリット
- 高分解能 - 16,384 逓倍の内挿分割により、1m/s の速度で 9.64pm の信号分解能を達成
- 自由度の高いソフトウェア - 既存のキャリブレーションソフトウェアとも対応、かつソフトウェア開発キットも付属
- 自動データ取得 - TPin トリガー入力機能により、外部生成信号の受信時にデータ取得を開始可能
仕様
| 分解能 | 9.64pm (平面鏡システム) 19.28pm (反射鏡システム) |
| 最高速度 | 1m/s (平面鏡システム) 2m/s (反射鏡システム) |
| 最高更新速度 | 50kHz (SDK の使用時は 20Hz) |
PMI | PMI | RRI | RRI | |
| 速度 | <50mm/s | <1m/s | <100mm/s | <2m/s |
| 周期誤差* | 3nm | 4nm | 6nm | 8nm |
製品情報
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