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レーザーエンコーダインターフェース

高分解能のレーザーインターフェースです。

RPI20 パラレルインターフェース

RPI20 は、RLE レーザー干渉計エンコーダが出力した 1Vpp アナログ信号を、パラレルワードフォーマットの超高分解能 (4096 逓倍内挿分割) 位置フィーバックに変換します。

RPI20 パラレルインターフェース

特長とメリット

  • 高分解能: アナログ信号を、最高 4096 逓倍内挿分割
  • 複数軸対応: 1 本のバスで 7 軸対応可能
  • 高速通信: 6.5MHz 未満の入力帯域幅と 36bit のパラレル形式での出力
  • 高精度: 低周期誤差 (<±0.5nm)

RPI20 を、VME システム環境で使用できるようにするためのオプションの 2 軸 VME ホスト基板です。

仕様

分解能38.6pm (平面鏡システム)
77.2pm (反射鏡システム)
最高速度1m/s (平面鏡システム)
2m/s (反射鏡システム)
出力信号36bit パラレルワード

PMI

PMI

RRI

RRI

速度

<50mm/s

<1m/s

<100mm/s

<2m/s

周期誤差*

0.5nm

2nm

1nm

4nm

*非直線性誤差

RLI20-P レーザーインターフェース: Panasonic

RLI20-P は、レニショーレーザーエンコーダシステムと、Panasonic コントローラ (MINAS A5-SERIES) 間の通信を仲介します。レーザーエンコーダから出力される 1Vpp アナログ信号が高速インターポレータに入力され、その後 RS485 形式のインクリメンタル位置信号として出力されます。

RLI20-P レーザーインターフェース - Panasonic

特長とメリット

  • Panasonic との互換性: Panasonic コントローラに対応 (MINAS A5-SERIES)
  • 高速通信: 内部位置情報を高速更新 (100MHz)
  • 高精度: 低周期誤差 (<±0.5nm)

仕様

分解能1nm (平面鏡システム)
2nm (反射鏡システム)
最高速度1m/s (平面鏡システム)
2m/s (反射鏡システム)
出力信号2.5Mbps RS485、Panasonic
MINAS A5 シリーズのコントローラに対応

PMI

PMI

RRI

RRI

速度

<50mm/s

<1m/s

<100mm/s

<2m/s

周期誤差*

0.5nm

2nm

1nm

4nm

*非直線性誤差

RSU10 USB インターフェース

RSU10 USB インターフェース は、RLE システムからアナログ 1Vpp Sin/Cos を受信し、16,384 逓倍の内挿分割を行い、USB ポート経由で位置決め信号を出力します。

RSU10 を使用することで、レニショーのキャリブレーションソフトウェア (LaserXL および QuickViewXL) で測定データを扱えるようになります。リアルタイムの動的測定データの表示と解析に理想的です。

RSU10 には、最大出力更新速度が 20Hz のソフトウェア開発キット (SDK) が付属します。SDK を使うと、非標準機能を搭載したソフトウェアを開発できます。

RSU10 USB インターフェース

特長とメリット

  • 高分解能: 16,384 逓倍の内挿分割により、1m/s の速度で 9.64pm の信号分解能を達成
  • 自由度の高いソフトウェア: 既存のキャリブレーションソフトウェアとも対応、かつソフトウェア開発キットも付属
  • 自動データ取得: TPin トリガー入力機能により、外部生成信号の受信時にデータ取得を開始可能

仕様

分解能9.64pm (平面鏡システム)
19.28pm (反射鏡システム)
最高速度1m/s (平面鏡システム)
2m/s (反射鏡システム)
最高更新速度50kHz (SDK の使用時は 20Hz)

PMI

PMI

RRI

RRI

速度

<50mm/s

<1m/s

<100mm/s

<2m/s

周期誤差*

3nm

4nm

6nm

8nm

*非直線性誤差

製品情報