レーザーエンコーダインターフェース
高分解能のレーザーインターフェースです。
RPI20 パラレルインターフェース
RPI20 は、RLE レーザー干渉計エンコーダが出力した 1Vpp アナログ信号を、パラレルワードフォーマットの超高分解能 (4096 逓倍内挿分割) 位置フィーバックに変換します。
特長とメリット
- 高分解能: アナログ信号を、最高 4096 逓倍内挿分割
- 複数軸対応: 1 本のバスで 7 軸対応可能
- 高速通信: 6.5MHz 未満の入力帯域幅と 36bit のパラレル形式での出力
- 高精度: 低周期誤差 (<±0.5nm)
RPI20 を、VME システム環境で使用できるようにするためのオプションの 2 軸 VME ホスト基板です。
仕様
| 分解能 | 38.6pm (平面鏡システム) 77.2pm (反射鏡システム) |
| 最高速度 | 1m/s (平面鏡システム) 2m/s (反射鏡システム) |
| 出力信号 | 36bit パラレルワード |
PMI | PMI | RRI | RRI | |
| 速度 | <50mm/s | <1m/s | <100mm/s | <2m/s |
| 周期誤差* | 0.5nm | 2nm | 1nm | 4nm |
RLI20-P レーザーインターフェース: Panasonic
RLI20-P は、レニショーレーザーエンコーダシステムと、Panasonic コントローラ (MINAS A5-SERIES) 間の通信を仲介します。レーザーエンコーダから出力される 1Vpp アナログ信号が高速インターポレータに入力され、その後 RS485 形式のインクリメンタル位置信号として出力されます。
特長とメリット
- Panasonic との互換性: Panasonic コントローラに対応 (MINAS A5-SERIES)
- 高速通信: 内部位置情報を高速更新 (100MHz)
- 高精度: 低周期誤差 (<±0.5nm)
仕様
| 分解能 | 1nm (平面鏡システム) 2nm (反射鏡システム) |
| 最高速度 | 1m/s (平面鏡システム) 2m/s (反射鏡システム) |
| 出力信号 | 2.5Mbps RS485、Panasonic MINAS A5 シリーズのコントローラに対応 |
PMI | PMI | RRI | RRI | |
| 速度 | <50mm/s | <1m/s | <100mm/s | <2m/s |
| 周期誤差* | 0.5nm | 2nm | 1nm | 4nm |
RSU10 USB インターフェース
RSU10 USB インターフェース は、RLE システムからアナログ 1Vpp Sin/Cos を受信し、16,384 逓倍の内挿分割を行い、USB ポート経由で位置決め信号を出力します。
RSU10 を使用することで、レニショーのキャリブレーションソフトウェア (LaserXL および QuickViewXL) で測定データを扱えるようになります。リアルタイムの動的測定データの表示と解析に理想的です。
RSU10 には、最大出力更新速度が 20Hz のソフトウェア開発キット (SDK) が付属します。SDK を使うと、非標準機能を搭載したソフトウェアを開発できます。
特長とメリット
- 高分解能: 16,384 逓倍の内挿分割により、1m/s の速度で 9.64pm の信号分解能を達成
- 自由度の高いソフトウェア: 既存のキャリブレーションソフトウェアとも対応、かつソフトウェア開発キットも付属
- 自動データ取得: TPin トリガー入力機能により、外部生成信号の受信時にデータ取得を開始可能
仕様
| 分解能 | 9.64pm (平面鏡システム) 19.28pm (反射鏡システム) |
| 最高速度 | 1m/s (平面鏡システム) 2m/s (反射鏡システム) |
| 最高更新速度 | 50kHz (SDK の使用時は 20Hz) |
PMI | PMI | RRI | RRI | |
| 速度 | <50mm/s | <1m/s | <100mm/s | <2m/s |
| 周期誤差* | 3nm | 4nm | 6nm | 8nm |
製品情報
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