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RCU10 リアルタイム環境補正システム

リアルタイム矩形波位置フィードバックの補正システム

RCU10 環境補正ユニットとセンサー

レーザー干渉計システムを真空以外の環境で使用する場合は、環境が変化しても精度を維持できるよう、何らかの方法で空気の屈折率補正を行う必要があります干渉計の原理はレーザー光線の波長に依存しており、レーザー波長は、ビームが通過する空気の屈折率によって異なります。

±1℃の気温変化、±3.3mbar の気圧変化、50% の湿度の変化などの環境変化により、レーザー波長に 1ppm の変化が発生し、測定に影響が及びます。

RCU10 の入出力パラメータの設定には、レニショーの設定ソフトウェア (RCU-CS) を使用します。本ページの下部のリンクからダウンロード可能です。

特長とメリット

  • 精度: 気圧、温度センサーを使用したレーザーエンコーダの屈折率補正により、精度を±1ppm 以内に改善
  • 生産性の向上: 物体温度センサーを使用したワークと機械構造の熱膨張補正により、プロセスの繰り返し精度を大幅に改善
  • フレキシビリティ: デジタル矩形波フィードバック信号を扱うさまざまなレーザーおよびスケールエンコーダの補正に使用可能

RCU10 システムの構築

RCU10 システムの構築時には、下記をご検討ください。

  • RCU10 には、気圧センサーを内蔵したユニット (RCU10-PX-XX) と内蔵していないユニット (RCU10-XX-XX) があります
  • 多軸システムには、高速シリアル通信リンクにより最大 6 台の RCU10 をリンクできます。多軸システムに組み込む場合には、必要な RCU10-PX-XX は 1 台のみです。
  • 気温センサー
  • 物体温度センサー

RCU10 パーツ番号ジェネレータに要件を入力して、必要な、環境補正システムのパーツ番号を判定してください。パーツ番号が自動的に算出されます。見積りと発注にご利用ください。

仕様

 
機能屈折率補正
物体の膨張補正
精度 ±1ppm*
データ形式 デジタル: RS422 矩形波
アナログ: 1Vpp Sin/Cos
分解能 デジタル: 10nm まで可変
アナログ: 20µm まで可変
速度 5m/s

*デジタル出力には 3 以上の入力カウントと 1 以上の出力カウントが加わります。アナログ出力は、速度に追従したエラーがあります。

オプション

RCU10 リアルタイム環境補正システムには、各種オプションを用意しています。
A-8014-0670シリアル/USB アダプタ
RCU10-DB-XXセンサー分配ボックス
RCU10-AC-X5センサーケーブル (長さ 5m)
RCU10-AT-XX 気温トランスミッタ
RCU10-MT-XX 物体温度トランスミッタ
オンライン購入

ソフトウェアのダウンロード

  • Software download: RCU CS v2.0.5 [en]

    RCU CS is the RCU10 configuration software. It allows all the parameters and operational modes to be configured before the RCU10 may be used. It also provides an operational display to monitor the compensation process, environment and error status.

製品情報