RSLM20 リニアスケールと TONiC™ FS インクリメンタルエンコーダシステム

TONiC FS とは

TONiC FS は、最高速度 10m/s の、コンパクトな非接触式エンコーダシステムです。リニアおよびロータリシステムで使用でき、最高分解能は、DOP インターフェースと組み合わせた場合で、1nm です。取付け公差が広く、ボタン 1 個でキャリブレーションを行えるため、短時間で簡単に取り付けられます。また、動的信号処理により、平均周期誤差±30nm 未満という優れた信号の安定性を確保し、優れたモーションコントロール性能を実現します。機能安全での使用のための SIL2 および PLd 認定に準拠しています。

*アナログサインおよびコサイン出力のみが、機能安全です。

RSLM20 スケールとは

RSLM20 は目盛りが 20µm ピッチで刻まれているステンレススチールスケールです。IN-TRAC オプティカルリファレンスマークは、任意の 1 点を選べる等間隔配置や、スケールの中央または端での 1 点配置などから選択できます。
長さ 5m で±4µm 以内の精度（勾配とリニアリティを含む）という、ファインピッチのガラススケールに匹敵する性能を備えています。リール巻き式のため、保管と取扱いが簡単で、伸ばしてスケールとして使用します。
ニーズに合わせて、専用両面テープ取付けか機械式クリップ取付けを選択できます。どちらの取付け方式でも、機材に影響されない熱膨張率を維持できます。

TONiC FS は、レニショー独自の第三世代のオプティカルフィルタ機構を備えており、この機構が、多くのスケール周期値を平均して、汚れなどの非周期性の特徴を効果的に除去します。矩形波スケールパターンも除去されて、検出面ではきれいな正弦波の干渉縞が得られます。検出面には複数のフィンガ構造が採用されており、目が細かく、4 点の対称的な位相信号をフォト電流として得ます。これらを組み合わせて DC 成分を除去し、帯域幅を 500kHz 以上に維持しながら、高いスペクトル純度と低いオフセットに抑えたサイン波とコサイン波の信号を出力します。

オートゲインコントロール、オートバランスコントロール、オートオフセットコントロールといった高度な動的信号処理が組み合わされ、平均±30nm 未満という非常に低い周期誤差を実現しています。

高度化したオプティカルフィルタ機構と、選び抜かれた電子部品と組み合わせることで、10m/s の最大速度を実現する広い帯域幅のインクリメンタル信号を確保しながら、このクラスのエンコーダで最小の位置データのジッタ（ノイズ）を実現しています。内挿分割は Ti リードヘッド内で CORDIC アルゴリズムによって行われます。高分解能バージョンでは、ノイズ低減用の機構が追加搭載されており、わずか 0.5nm RMS というジッタを実現しています。