炭化ケイ素

現代のエレクトロニクス製品には、様々な半導体材料が使用されています。トランジスタ、太陽電池、発光ダイオードなどの最新鋭デバイスは、材料特性を極限まで推し進めており、きわめて均質な素材が必要とされています。ラマン分光は、半導体の研究に最適なツールです。

半導体の特徴の把握

ラマンを使用すると、あらゆる半導体（Si、カーボンベース、III-V族、ポリマーなど）や超伝導体の特徴を把握して、イメージを生成できます。これにより、次のように広範な情報を解明できます。

ラマン分析は、サンプルの準備が不要なので非常に簡単です。また、真空技術や、電子顕微鏡に付きまとう電荷の影響に悩まされることもありません。

レニショーでは、科学研究者から技術者まで、あらゆるユーザーに合わせてラマンシステムを構成できます。

広い領域の分析
レニショーのラマンシステムは非常に大きなサンプルでも分析可能です。例えば、ウェハー全体のイメージを生成して、コンタミネーションや残留応力を確認できます。

PL の特徴を把握
レニショーのラマンシステムでは、フォトルミネセンス分光（PL）のスペクトルの取得および分析も可能です。この 1 台で振動情報と電子情報の両方を収集することができます。

オンラインシステム
レニショーのラマンシステムを製造ラインに追加することで、品質保証のためのオンライン分析を行うことが可能です。問題を早期に診断し、むだを低減し、歩留まりを改善しきます。

信頼性の高い結果
レニショーのラマンシステムにより、サンプルを正確に表現する再現性の高いデータが得られます。さらに、内蔵の自動校正とヘルスチェック機能により、いつ収集したデータでも、正確に比較できます。

レニショーの inVia により信頼性と再現性の高い結果を取得する方法についてご説明しますので、レニショー株式会社までお問い合わせください。