| 製品名 | 出力(分解能) | リファレンスマーク | リミットスイッチ | 最高速度 | 内挿分割 | アラーム信号形式 | 防水性能 | スケールタイプ | クリアランス公差 | セットアップ LED | 動作時温度 | ケーブル | 最小カスタマークロック | 真空対応 | データシート |
|---|
RGH22 16.0 x 44.0 x 27.0 mm
45 g | RS422: 5 µm、1µm、0.5µm、0.1m、50nm アナログ: 1 Vpp、12µA | 磁石駆動部 | シングルまたはデュアルリミット | 10 m/s | 内蔵 | ディファレンシャル信号またはトリステイト | IP50 | RGS20-S テープスケール | 0.8±0.1mm | リードヘッドに取り付け | 0 °C ~ 55 °C | 高屈曲性、12 芯、5m まで | 20 MHz、10 MHz、5 MHz (0.1µm および 50nm 用) | 未対応 | データシート: RGH22 シリーズリードヘッド |
RGH24 14.8 x 36.0 x 13.5 mm
11 g | RS422: 5µm、1µm、0.5µm、0.2µm、0.1µm、50nm、20nm、10nm アナログ: 1 Vpp、12µA | 磁石駆動部 | シングルリミット | 10 m/s | 内蔵 | トリステイト | IP40 | RGS20-S テープスケール | 0.8±0.1mm | リードヘッドに取り付け | 0 °C ~ 55 °C | 高屈曲性、8 芯、5m まで | 12 MHz、8 MHz、6 MHz、4 MHz (0.2µm、0.1µm、および 50nm 用) | 未対応 | データシート: RGH24 シリーズリードヘッド |
RGH25 10.5 x 36.0 x 13.5 mm
9 g | RS422: 5µm、1µm、0.5µm、0.2µm、0.1µm、50nm、20nm、10nm アナログ: 1 Vpp、12µA | 磁石駆動部 | シングルリミット | 10 m/s | RGB25 (x4~x400) RGF (x100~x2000) | ディファレンシャル信号またはトリステイト | IP40 | RGS20-S テープスケール | 0.8±0.1mm | インターフェースに取り付け | 0 °C ~ 55 °C | 高屈曲性、8 芯、5m まで | 20 MHz、10 MHz、5 MHz (0.1µm および 50nm 用) | データシート - RGH25U UHV, RGH25F UHV, RGH20F UHV 超真空対応型リードヘッドシステム | データシート: RGH25 シリーズリードヘッド (アーカイブ) データシート: RGH25F エンコーダシステム (アーカイブ) |
RGH26 16.0 x 44.0 x 27.0 mm
45 g | 5µm、1µm、0.5µm の三菱シリアル出力 | 磁石駆動部 | デュアルリミット | 6 m/s | 内蔵 | - | IP50 | RGS20-S テープスケール | 0.8±0.1mm | リードヘッドに取り付け | 0 °C ~ 55 °C | 高屈曲性、12 芯、5m まで | - | 未対応 | データーシート:RGH26 シリーズシリアル通信リードヘッド |
RGH34 9.5 x 15.0 x 15.0mm
2g | RS422: 10µm、5µm、2µm、1µm、0.4µm、0.2µm、0.1µm アナログ: RGI34 インターフェースで 1Vpp | 磁石駆動部 | シングルリミット | 8 m/s | RGI34 インターフェース(x4~x400) | トリステイト | 0 | RGS40-S テープスケール、RGS40-G ガラススケール | 1.5±0.15 mm | RGI34 インターフェースに取り付け | 0 °C ~ 55 °C | ヘッドとインターフェース間で FPC ケーブル最大 150mm | 12 MHz、8 MHz、6 MHz、4 MHz (0.4µm、0.2µm、および 0.1µm 用) | 未対応 | データシート - RGH34 シリーズエンコーダシステム |
RGH40 17.0 x 44.0 x 27.0 mm
30 g | RS422: 10µm、5µm、2µm、1µm、0.4µm、0.2µm、0.1µm アナログ: 1 Vpp | 磁石駆動部 | デュアルリミット | 10 m/s | 内蔵 | ディファレンシャル信号またはトリステイト | IP50 | RGS40-G ガラススケール | 0.8±0.15 mm | リードヘッドに取り付け | 0 °C ~ 55 °C | 高屈曲性、12 芯、5m まで | 20 MHz、10 MHz、5 MHz (0.1µm および 50nm 用) | 未対応 | データシート: RGH40 シリーズリードヘッド |
RGH41 17.0 x 44.0 x 27.0 mm
30 g | RS422: 10µm、5µm、2µm、1µm、0.4µm、0.2µm、0.1µm アナログ: 1 Vpp | 磁石駆動部 | デュアルリミット | 15 m/s | 内蔵 | ディファレンシャル信号またはトリステイト | IP50 | RGS40-S テープスケール | 0.8±0.15 mm | リードヘッドに取り付け | 0 °C ~ 55 °C | 高屈曲性、12 芯、5m まで | - | 未対応 | データシート: RGH41 シリーズリードヘッド |
SR 
14.8 x 36.0 x 16.5 mm
15 g | RS422: 5µm、1µm、0.5µm、0.2µm、0.1µm、50nm、20nm、10nm、5nm アナログ: 1Vpp | IN-TRAC™ 自動位相オプティカル | 自由に設定できるオプティカルデュアルリミット | 12.5 m/s | Si インターフェース(x4 ~ x4000) | | IP64 - 「回復可能なリードヘッド」 | 20µm の RELM Invar スケール、20µm の RSLM ステンレススチールスケール | 0.8±0.08 mm | リードヘッドと Si インターフェースに取り付け | 0 °C ~ 85 °C | 高屈曲性、12 芯、10 m まで | 全ての分解能において、40 MHz、20 MHz、12 MHz、10 MHz、8 MHz、6 MHz、4 MHz、1 MHZ | 未対応 | データシート: SiGNUM™ SR、Si エンコーダシステム( デジタルとアナログ出力オプション) |