VIONiC™ エンコーダシリーズ
VIONiC は、レニショーの最高性能を誇る光学式インクリメンタルエンコーダです。優れた測定性能、高速性、高信頼性を誇り、デジタル信号を直接出力します。VIONiC リードヘッドには、市場での高い実績を誇るレニショーのオプティカルフィルタ機構と高度内挿分割技術が組み込まれています。この機構と技術により、超低周期誤差と汚れに対する優れた耐性を実現し、追加アダプタや個別インターフェースが不要になっています。
また、VIONiC リードヘッドは、低熱膨張率の ZeroMet™ スケールから高精度 REXM リングまで、さまざまなリニアスケール、パーシャルアークスケール、ロータリスケールに対応します。VIONiC シリーズは、汎用性と高精度を兼ね備えたエンコーダです。
超低周期誤差
VIONiC は、市場で高く評価されているフィルタリング機構と信号処理機能を搭載し、高い測定パフォーマンスを有するエンコーダです。高度な内挿分割技術により、レニショー光学式エンコーダの中でも最小の、周期誤差 <±15nm を達成しています。
高速、高分解能
高度な内挿分割チップを内蔵し、分解能 2.5nm を達成しています。あらゆる場面で高い精度と繰り返し精度を発揮できます。最高クロックレートは 50MHz で、最高速度 12m/s での動作が可能です。分解能 0.1µm では 3.63m/s が可能で、半導体製造プロセスに理想的です。
高度診断ツール
VIONiC には、直感的に使用できる自動キャリブレーションモードが搭載されており、簡単に取り付けられます。さらに、高度診断ツール ADTi-100 (アクセサリ) を使用して、取付け時や現場での診断時に、リアルタイムでエンコーダからフィードバックを得られます。
VIONiC 用スケールのラインナップ
リニア
スケールタイプ | スケール名 | 精度 | スケールピッチ | 熱膨張率 (20℃時) | 最大スケール長 |
トラック選択式のステンレススチールテープ
| ±5µm/m | 20µm | 10.1±0.2µm/m/℃ | 最長 10m (10m 超も対応可) | |
スリムステンレススチールテープスケール
| ±5µm/m | 20µm | 機材の熱膨張率と同じ (両端をエンドクランプで機材に固定時) | 最長 20m (20m 超も対応可) | |
ZeroMet スケール
| RELM/RELE | 1m まで±1µm、1m 超は±1µm/m | 20µm | 0.75±0.35µm/m/℃ | 最長 1.5m |
ステンレススチールスケール
| ±1.5µm (1m 以下)、±2.25µm (2m 以下)、±3µm (3m 以下)、±4µm (5m 以下) | 20µm | 10.1±0.2µm/m/℃ | 最長 5m |
パーシャルアーク
スケールタイプ | スケール名 | 精度 | スケールピッチ | 熱膨張率 (20℃時) | 長さ |
スリムステンレススチールテープ
| ±5µm/m | 20µm | 10.1±0.2µm/m/℃ | 最長 20m (20m 超も対応可) |
ロータリ
スケールタイプ | スケール名 | 精度 (リング直径に依存) | スケールピッチ | 熱膨張率 (20℃時) | リング直径 |
ステンレススチールリング  | 目盛精度: ±3.97～±0.38arc 秒 | 20µm | 15.5±0.5µm/m/℃ | 52～550mm | |
超高精度ステンレススチールリング  | REXM20、REXT20 | 取付け精度: (直径≥100mm)±1arc 秒 | 20µm | 15.5±0.5µm/m/℃ | 52～417mm |
高度診断ツール ADTi-100 (アクセサリ)
VIONiC エンコーダシステムは、高度診断ツール ADTi-100 とソフトウェアの ADT View に対応しています。取付けや診断が難しい場合に役に立つ、エンコーダのさまざまなデータをリアルタイムで取得できます。ソフトウェアのインターフェースは直感的な作りになっています。また、下記の機能が使用できます。
- リモートキャリブレーション
- 軸のフルストロークにわたる信号の最適化
- リードヘッドピッチの表示
- リミットおよびリファレンスマーク位置の表示
- エンコーダ位置をデジタル表示 (スケールに対する相対位置)
- 時間 v.s. 速度グラフのモニタリング
- データのエクスポートと保存
主な特徴
速度
| クロック出力周波数 (MHz) | 最高速度 (m/s) | 最小エッジ間隔*(ns) | |||||||||||
| D (5µm) | X (1µm) | Z (0.5µm) | W (0.2µm) | Y (0.1µm) | H (50nm) | M (40nm) | P (25nm) | I (20nm) | O (10nm) | Q (5nm) | R (2.5nm) | ||
| 50 | 12 | 12 | 12 | 7.25 | 3.63 | 1.81 | 1.45 | 0.906 | 0.725 | 0.363 | 0.181 | 0.091 | 25.3 |
| 40 | 12 | 12 | 12 | 5.80 | 2.90 | 1.45 | 1.16 | 0.725 | 0.580 | 0.290 | 0.145 | 0.073 | 31.8 |
| 25 | 12 | 12 | 9.06 | 3.63 | 1.81 | 0.906 | 0.725 | 0.453 | 0.363 | 0.181 | 0.091 | 0.045 | 51.2 |
| 20 | 12 | 12 | 8.06 | 3.22 | 1.61 | 0.806 | 0.645 | 0.403 | 0.322 | 0.161 | 0.081 | 0.040 | 57.7 |
| 12 | 12 | 10.36 | 5.18 | 2.07 | 1.04 | 0.518 | 0.414 | 0.259 | 0.207 | 0.104 | 0.052 | 0.026 | 90.2 |
| 10 | 12 | 8.53 | 4.27 | 1.71 | 0.850 | 0.427 | 0.341 | 0.213 | 0.171 | 0.085 | 0.043 | 0.021 | 110 |
| 08 | 12 | 6.91 | 3.45 | 1.38 | 0.690 | 0.345 | 0.276 | 0.173 | 0.138 | 0.069 | 0.035 | 0.017 | 136 |
| 06 | 12 | 5.37 | 2.69 | 1.07 | 0.540 | 0.269 | 0.215 | 0.134 | 0.107 | 0.054 | 0.027 | 0.013 | 175 |
| 04 | 12 | 3.63 | 1.81 | 0.730 | 0.360 | 0.181 | 0.145 | 0.091 | 0.073 | 0.036 | 0.018 | 0.009 | 259 |
| 01 | 4.53 | 0.910 | 0.450 | 0.180 | 0.090 | 0.045 | 0.036 | 0.023 | 0.018 | 0.009 | 0.005 | 0.002 | 1038 |
*1m のケーブルのリードヘッドの場合
超低周期誤差
内挿分割を行った誤差: 10 誤差サイクル
X 軸: リードヘッドの位置 (mm)
Y 軸: 誤差 (nm)