 | XL-80 用計測光学部品 レニショーの測定光学部品を使用すれば、軸の位置決め、ピッチ、ヨー、水平方向と垂直方向の真直度を測定できます。 さらに、オプチカルキットを追加することで、表面の平面度と軸の直角度を測定できます。
XL-80 と ML10 システムには、同じ光学部品を使用することができ、同じ測定のセットアップと手順を維持できます。 すべての測定は干渉計を使用して実施するため、国際規格に対してトレーサブルなレーザー光波長が使用され、測定結果に対する完全な信頼性が得られます。
割り出し角度測定については、RX10 回転軸割り出し角度測定セクションを参照ください。セットアップと測定に役立つその他の光学部品アクセサリについては、光学部品アクセサリセクションを参照ください。 特長と効果
測定の切り替えが容易 独自設計の位置決め、角度、直進度光学部品により、レーザーの再調整の必要なく別の測定を実行することができます。
利便性 -移動用光学部品にはケーブルがないため、引っかかったり絡まる心配がなく、最高の精度と利便性が得られます。
低質量のアルミニウム製光学部品 - 光学部品はアルミニウム製のため、特に水平アームの CMM でピッチ偏差を測定したり、動的測定を行う場合に、低質量の光学部品が特に有益になります。
短時間で熱順化 - 一部の他社システムは、ステンレススチール製光学ハウジングを使用しています。 これらはレニショーのアルミニウム製光学部品に比べてかなり重量があり、熱伝導率が低いため、作業環境の温度に順化するのに時間がかかります。 位置決め測定オプチカルキット
レーザーを使った機械測定で最も一般的なのが位置決め測定です。
位置決め測定オプチカルキットの内容:
- 1 x 位置決め干渉計
- 2 x 位置決め反射鏡と固定ネジ
- 2 x アライメント調整用のターゲット
| パーツ No. |
説明 |
| A-8003-0440 |
位置決め測定オプチカルキット |
仕様
| 測定距離 |
0m~40m |
| システム精度(XL-80 システムで使用した場合) |
±0.5ppm(ppm は 100 万分の 1) |
| (ML10 ゴールドスタンダードで使用した場合) |
±0.7ppm |
| (ゴールドスタンダードの前の ML10 で使用した場合) |
±1.1ppm |
| 分解能 |
0.001µm |
| 最大追従速度 |
4m/s |
| 速度測定精度 |
±0.05% |
40 m を超える位置決め測定には長距離位置決め測定アクセサリキットが必要になります。 角度測定オプチカルキット
これらの光学部品を使用すればピッチとヨーの測定が可能になり、0.01 arc sec の分解能で最高 ±10°までの角度偏差を測定できます。
角度測定オプチカルキットの内容:
- 1 x 角度反射鏡
- 1 x 角度干渉計
- 2 x アライメント調整用のターゲット
| パーツ No. |
説明 |
| A-8003-0441 |
角度測定光学部品 |
仕様
| 測定距離 |
0m~15m |
| 角度測定範囲 |
±175mm/m(±10°) |
| 角度測定精度 |
±0.6%* ±0.5 ±0.1Mµ/mm
(±0.6%* ±0.1 ±0.007F arc sec) |
| 分解能 |
0.1µm/m(0.01 arc sec) |
記号の意味:
% = 表示値のパーセンテージ
M = 測定距離(メートル)
F = 測定距離(フィート)
* 精度 0.2% のものも特注で承ります 位置決めと角度測定光学部品の組み合わせキット
この光学部品の組み合わせキットは、位置決めと角度測定を望むユーザーの方向けの低価格のオプションです。
組み合わせキットの内容:
- 1 x 位置決め反射鏡と固定ネジ
- 1 x 角度反射鏡
- 1 x 角度干渉計
- 3 x アライメント調整用のターゲット
| パーツ No. |
説明 |
| A-8003-2774 |
位置決めと角度測定光学部品の組み合わせキット | 真直度測定オプチカルキット: 軸長 0.1 ~ 4m
これらの光学部品を使用すれば、長さ 4m までの位置決め軸の水平方向の真直度偏差を測定できます。 さらに、軸の平行度も計測できます。
ショートレンジ真直度キットの内容:
| パーツ No. |
説明 |
| A-8003-0443 |
真直度光学部品 - ショートレンジ |
仕様
| 測定距離 |
0.1m~4m |
| 真直度測定範囲 |
±2.5mm |
| 精度 |
±0.5% ±0.5 ±0.15M2μm
(±0.5% ±20 ±0.5F2µin) |
| 分解能 |
0.01µm |
記号の意味:
% = 表示値のパーセンテージ
M = 測定距離(メートル)
F = 測定距離(フィート)
アプリケーションによっては、真直度シャッターか真直度測定アクセサリキットが必要になります(光学部品アクセサリセクションを参照ください)。 真直度測定オプチカルキット: 軸長 1 ~ 30 m
これらの光学部品を XL-80 と使用すれば、1m~30m の距離で軸の水平方向の真直度を測定できます。 さらに、平行軸の測定もできます。
各ロングレンジ真直度用キットの内容:
- 1 x 真直度干渉計
- 1 x 真直度反射鏡
- 2 x アライメント調整用のターゲット
| パーツ No. |
説明 |
| A-8003-0444 |
真直度光学部品 - ロングレンジ |
仕様
| 測定距離 |
1m~30m |
| 真直度測定範囲 |
±2.5mm |
| 精度* |
±2.5% ±5 ±0.015M2μm
(±2.5% ±200 ±0.05F2µin) |
| 分解能 |
0.1µm |
記号の意味:
% = 表示値のパーセンテージ
M = 測定距離(メートル)
F = 測定距離(フィート)
* 環境条件による
アプリケーションによっては、真直度シャッターか真直度測定アクセサリキットが必要になります(光学部品アクセサリセクションを参照ください)。 直角度測定光学部品
これらの光学部品は、直角度ミラーを通して、直交する2軸間の真直度の勾配を比較することにより直角度偏差を特定するものです。
注:
直角度測定を行うには、真直度測定オプチカルキットと真直度測定アクセサリキットも必要になります。
直角度測定オプチカルキットの内容:
- 1 x 光学スクエアと固定ネジ
- 1 x ブラケット(ターニングミラーの調整用)
| パーツ No. |
説明 |
| A-8003-0665 |
直角度測定光学部品 |
仕様
| 測定範囲 |
±3/M mm/m(±2000/F arc sec) |
| 分解能 |
0.1µm/m(0.01 arc sec) |
記号の意味:
M = 測定距離(メートル)
F = 測定距離(フィート) 平面度測定キット
平面度ミラーは、水平方向に回転するだけでなく、傾けることができるため、レーザービームを水平方向と垂直方向に調節できます。
注:
平面度測定には、角度光学部品も必要になります。
平面度測定キットの内容:
- 2 x 平面度ミラー
- 1 x 50mm 平面度用ベース
- 1 x 100mm 平面度用ベース
- 1 x 150mm 平面度用ベース
| パーツ No. |
説明 |
| A-8003-0442 |
平面度測定キット |
仕様
| 測定距離 |
0m ~ 15 m |
| 平面度測定範囲 |
±1.5mm |
| 精度 |
±0.6%* ±0.02M2µm
(±0.6%* ±0.08F2µin) |
| 分解能 |
0.01µm |
記号の意味:
% = 算出平面度のパーセンテージ
M = 対角線の長さ(メートル)
F = 対角線の長さ(フィート) |