RMAP マルチアクシスペリスコープ

XY ステージの 6 自由度を、複数の干渉計から照射されるビームの照射面積を最小限に抑えて測定する設計です。RLD10-X3-DI 干渉計ヘッドと組み合わせて、ピッチ、ヨーおよび直線上の位置を測定します。

マルチアクシスペリスコープの角度測定範囲は±30arc 秒で、高性能ステージと互換性があるため、ステージのさらなる最適化に貢献します。単一面に取り付けるだけのため、真空室または測定対象のフレームに簡単に取付けできます。

角度測定に RLD10-X3-DI ヘッドを用いることで、レーザー周波数の変動や環境変化が原因で発生する誤差を、2 本のパスで同等にできます。2 本の独立したビームを基に算出する角度偏差と比較して、精度や繰り返し再現性を向上しています。