ケーススタディ: ATOM™ で実現する、FPD の高速・高精度な検査と修復 (pdf)

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韓国のフラットパネルディスプレイ (FPD) 製造用機器メーカーは近年マーケットリーダーとしての地位を築いており、有機発光ダイオード (OLED) やアクティブマトリックス式有機発光ダイオード (AMOLED) の製造において近年見られる成長の多くを牽引してきました。有名な韓国のモーションコントロール用部品のメーカー TPC 社は、レニショー製超小型リニアエンコーダシステム ATOM を X 軸と Y 軸に組み込んだレーザー開口絞り(オプチカルスリット)アセンブリを開発しました。この開口絞りは、FPD アセンブリや金属フォトマスクのレーザーを使用した修復向けのコンパクトで高精度な開口制御を実現します。

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