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超高真空 (UHV) 対応タイプ光学式エンコーダ

機能

  • 真空対応の構造材と接着剤を使用し、低いガス放出率を実現
  • 立証されたクリーンな残留ガス分析
  • 最高ベーキング温度 120℃
  • オープン非接触光学式システムのため、摩擦や摩耗がなく、高い信頼性の高速操作が可能
  • 空気が密封された空間を排除
  • 高精度リニアスケールとロータリースケールを各種用意

多量の空気やその他の期待が存在することで完成品に悪影響がでる産業プロセスが多くあります。そのため、そういったプロセスは、残圧を極めて制限した環境で行わなければなりません。これらのプロセスでモーションコントロールが関わる場合、真空対応タイプのエンコーダが必要です。

レニショーの超高真空 (UHV) 対応タイプエンコーダシリーズは、最大 10-10Torr の真空圧力の、科学、半導体等、さまざまな高度産業分野に使用できるように設計されています。基本的な作動原理は標準環境用製品と同じですが、UHV 対応製品は、空気を密封した空間が排除されており、クリーンな真空対応材と接着剤を使用して特別に製造されています。この製品を UHV 環境を使用する上での適性は、残留ガス分析スペクトルテストなどにより、外部の専門試験機関によって実証されています (要望に応じて結果を送付します)。

UHV 対応ロゴ

UHV 対応タイプは、アブソリュートでは RESOLUTE™ に、インクリメンタルでは TONiC™ にあります。各種リニアスケールとロータリスケールも用意しており、高い性能と信頼性を実現します。

UHV 対応アブソリュートエンコーダ

RESOLUTE UHV はアブソリュート光学式としては初の UHV 環境用エンコーダで、標準の RESOLUTE エンコーダと同じ動作原理を採用しています。そのため、広い取付け公差、本質としての安全性、ファインピッチ性能そして各種シリアルプロトコルとの互換性を確立しています。RESOLUTE は、電源 ON 直後に絶対位置を確立できるため、制御不能な動作がなくなり、原点復帰や電源 ON 後の位置確認作業を行わなくても軸の完全制御が可能になります。1nm の分解能を備え、周期誤差と RMS ノイズをそれぞれ±40nm と 10nm 未満に抑えた RESOLUTE は、パフォーマンスを大幅に向上できます。

UHV 対応インクリメンタルエンコーダ

機械対応年数の長期間にわたって確実かつ信頼性の高い信号を確保するためのオートゲインコントロールと、信号の信頼性を向上するオートオフセットコントロールから構成される動的信号処理を搭載しています。オートオフセットコントロールとエンコーダの位置データのノイズの低さから、直接駆動システムで速度リップルを低減できるため、真空内のモータの熱の蓄積を軽減できます。また、両面テープ式スケール、ステンレススチールスケール、ZeroMet スケールなどの位置決め計測基準により、高精度を確保しています。角度位置決め用としては、薄型の RESM と、±1arc 秒という優れた取付け精度を確保した超高精度 REXM リングを用意しています。