TONiC™ UHV インクリメンタルエンコーダシステム with RELM20 リニアスケール
機能
- リードヘッドサイズ: 35×13.5×10mm
- 最高分解能 1nm
- 最高速度 10m/s
- アナログ出力またはデジタル出力
- 超低周期誤差: 平均±30nm 未満
- IN-TRAC™ オプティカルリファレンスマーク
メリット
- UHV (超高真空) 対応タイプ
- ほぼゼロに抑えた熱膨張率で超高精度を確保
- 動的信号処理でモーションコントロール性能が向上したコンパクトリードヘッド
- 取付けや最適化に使用できる診断キットを用意
TONiC UHV とは
TONiC UHV は、優れたモーションコントロールを実現する、超高真空対応のコンパクト非接触式エンコーダシステムです。
最高速度は 10m/s で、Ti インターフェースと組み合わせた場合、リニアおよびロータリシステムとしての最高分解能は 1nm です。取付け公差が広く、ボタン 1 個でキャリブレーションを行えるため、短時間で簡単に取り付けられます。また、動的信号処理により、平均周期誤差±30nm 未満という優れた信号の安定性を確保し、優れたモーションコントロール性能を実現します。
RELM20 スケールとは
RELM20 は、ニッケルと鉄の合金である低熱膨張率の ZeroMet™ から作られたスケールで、目盛りが 20µm ピッチで刻まれています。
長さ 1.5m 以上で±1µm 以内の精度 (勾配とリニアリティを含む) という、ファインピッチのガラススケールに匹敵する性能を備えています。ZeroMet の熱膨張率は、20℃で約 0.75±0.35µm/m/℃です。
ニーズに合わせて、専用 UHV 対応両面テープ取付けか機械式クリップ取付けを選択できます。どちらの取付け方式でも、機材に影響されない熱膨張率を維持できます。
このエンコーダシステムのメリット
UHV (超高真空) 対応タイプ
TONiC UHV リードヘッドは、標準タイプの TONiC の優れた性能を継承しながら、超高真空対応の部品と製造工程で設計製造されたリードヘッドです。10-10Torr までの超高真空条件で使用できます。
TONiC UHV エンコーダと各種アクセサリは、UHV 対応素材と接着剤を使用した特別設計により、低いガス放出率とクリーンな残留ガス分析 (RGA) を確保しています。ウェハ処理/検査、科学計測器、分光器、真空検査装置などのさまざまな用途に最適です。
取り扱いやすさ
熱膨張率が低い RELM20 ZeroMet スケールは、一般的なガラススケールよりも断面が薄いため、取扱いと取付けが簡単です。また、破損の危険性がなく、高精度が要求される用途にも最適です。
高い測定パフォーマンス
TONiC には、市場で高く評価されているフィルタリング機構と信号処理機能が組み込まれています。オートゲインコントロール (AGC) と オートオフセットコントロール (AOC) という機能によって、アナログ信号のノイズやリードヘッド内のデジタルジッタを低減します。
ジッタ <±0.5nm RMS、周期誤差 <±30nm とそれぞれ極めて低く抑えられているため、位置精度が高く、リニアモータでの発熱量の低減に貢献します。また、ジッタが低いことにより、低速で高精度が求められる用途で、よりスムーズな速度制御が可能になります。
柔軟な構成
TONiC には、速度や分解能を柔軟に選択できるよう、幅広いインターフェースを用意しています。後半の工程で組み込む場合や外部インターフェースを使用する場合、エンドユーザー側でのカスタムに TONiC リードヘッド 1 個で柔軟に対応できます。
TONiC インターフェースの種類としては、デジタル出力、アナログ出力、デジタル/アナログ出力をご用意しています。TD インターフェースでは 2 種類の分解能を切替え可能で、DPI インターフェースでは幅広いフォーマットの印刷用途に対応しています。多種多様な構成に対応できる TONiC の柔軟さは、OEM 各社が高度なモーションコントロールや高い処理量を実現するうえで有効と言えます。
対応インターフェース
TD (デュアル分解能) インターフェース
- 選択可能なデュアル分解能のデジタル信号出力
- 高速移動と高精度の位置決めを必要とする用途に最適
DOP (デュアル出力) インターフェース
- デジタル信号と 1Vpp のアナログ信号を同時出力
- 移動軸と複数動作を同期させる用途向けに設計
診断キット (アクセサリ)
TONiC 診断ソフトウェアを使用すると、TONiC エンコーダを最適な状態で取り付けて、統合的なシステムキャリブレーションを短時間で行なえるようになります。このソフトウェアは、TONiC 診断用ハードウェアと一緒に使う必要があります。このハードウェアの購入については、レニショーまでお問い合わせください (パーツ No. A-9411-0011)。ハードウェアは、USB ケーブル (キットに付属) で PC に接続するか、エンコーダの接続先機器を介して接続できます。
TONiC 診断キットの詳細をご覧ください。
技術仕様
対応スケール | RELM20: 中央にリファレンスマークを搭載した、高精度 ZeroMet スケール RELE20: スケール端にリファレンスマークを搭載 |
リードヘッドサイズ (長さ×幅×厚さ) | 35mm×13.5mm×10mm |
スケールピッチ | 20µm |
熱膨張率 (20℃時) | 0.75±0.35µm/m/℃ |
精度等級 (20℃時) | ±1µm を保証 (校正は国際基準に対してトレーサブルです) |
リファレンスマーク | IN-TRAC リファレンスマーク リファレンスマークの位置は選択可能 (詳細はデータシート参照) |
リミットスイッチ | デュアルまたはシングルリミット (発注時に選択) |
スケール長 | 20mm～1.5m |
最高速度 アナログ デジタル | (詳細はデータシート参照) -3dB で最高 10m/s 最高 10m/s |
周期誤差 | 平均 <±30nm |
動的信号制御 | オートゲインコントロール、オートオフセットコントロールなどのリアルタイム信号処理で、動作中にパフォーマンス最適化 |
インクリメンタル信号 アナログ デジタル | 1Vpp (20µm 周期) 分解能 5µm～1nm |
電気接続 | ケーブル長 0.5m、1m、1.5m、3m、5m、10m、ミニコネクタ (TONiC インターフェースに直接接続) |
電源 | 5V±10%、<100mA (アナログシステム)、<200mA (デジタルシステム) (未終端) |
| リードヘッド消費電力 | < 100mA |
振動 (動作時) | 最大 100m/s2@55Hz～2,000Hz |
衝撃 (非動作時) | 1,000m/s2、6ms、½ sine |
動作温度 (システム) | 0℃～+70℃ |
ベーキング温度 (非動作時) | 120℃ (リードヘッドとスケールのみ) |
防水防塵性能 | リードヘッド: IP20 インターフェース: IP20 |
ケーブルの仕様 | 錫メッキ銅縒り単層シールド、フッ素樹脂皮膜芯線 |
詳細については、データシートを参照してください。