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TONiC™ インクリメンタルエンコーダシステム with REXM20 ロータリ (角度位置決め用) リング

機能

  • リードヘッドサイズ: 35×13.5×10mm
  • 最高分解能 1nm
  • 最高速度 3,673rev/min
  • アナログ出力またはデジタル出力
  • 超低周期誤差: 平均±30nm 未満
  • 真空対応タイプもラインナップ
  • IN-TRAC™ オプティカルリファレンスマーク

メリット

  • 取付け精度±1arc 秒以下の、厚型リング
  • 動的信号処理でモーションコントロール性能が向上したコンパクトリードヘッド
  • 汚れに対する高い耐性
  • 取付けや最適化に使用できる診断キットを用意
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TONiC とは

TONiC™ はコンパクトな非接触式インクリメンタルエンコーダシステムです。最高速度は 10m/s で、Ti インターフェースと組み合わせた場合、リニアおよびロータリシステムとしての最高分解能は 1nm です。リードヘッドに搭載した高度なフィルタリング機構によってジッタを低く抑えており、高い位置安定性とスムーズな速度制御を実現します。動きを厳密に制御しなければならない場面に理想的なエンコーダです。

また、平均周期誤差±30nm 未満という優れた信号の安定性を確保し、優れたモーションコントロール性能を実現します。

リードヘッドにはセットアップ LED を搭載し、直感的かつ効率的に取り付けられます。

REXM20 リングとは

REXM20 は、円周に 20µm のピッチでインクリメンタル目盛りを刻んだステンレススチールリングで、IN-TRAC™ オプティカルリファレンスマークを組み込んでいます。厚めの断面設計になっているため、偏心を除くあらゆる取付け誤差を最小に抑えることができ、偏心も DSi (デュアルシグナルインターフェース) と 2 個のリードヘッドの平均値を使用することで簡単に補正できます。最高±1arc 秒の取付け後精度と、優れた繰り返し精度を備えており、結合部がないためカップリングロスの影響を受けません。
REXM20 には各種サイズ (Ø52mm~Ø417mm) とラインカウントを用意しています。いずれも、内径が大きい中空構造であるため、装置へさまざまな方法で取付けできます。さらに非接触式のため、従来の密閉式のエンコーダに見られるバックラッシュ、シャフトのねじれ、その他のメカニカルなヒステリシス誤差の影響を受けません。

このエンコーダシステムのメリット

非常に高い取付け精度

REXM20 に 2 個の TONiC リードヘッドと TONiC DSi (デュアルシグナルインターフェース) を使用することで、結合部の信号損失の排除、優れた繰り返し精度と±1arc 秒以下の取付け精度を確保できるため、角度位置決め精度を極限まで高められます。REXM20 は、偏心以外のあらゆる取付け誤差を低減するために、断面を厚くしています。残る偏心は 2 個の TONiC リードヘッドの出力を組み合わせることで簡単に補正できます。DSi により偏心が排除されても、目盛誤差と周期誤差が残りますが、いずれもごくわずかです。

高い測定パフォーマンス

TONiC には、市場で高く評価されているフィルタリング機構と信号処理機能が組み込まれています。オートゲインコントロール (AGC) と オートオフセットコントロール (AOC) という機能によって、アナログ信号のノイズやリードヘッド内のデジタルジッタを低減します。

ジッタ <±0.5nm RMS、周期誤差 <±30nm とそれぞれ極めて低く抑えられているため、位置精度が高く、リニアモータでの発熱量の低減に貢献します。また、ジッタが低いことにより、低速で高精度が求められる用途で、よりスムーズな速度制御が可能になります。

柔軟な構成

TONiC には、速度や分解能を柔軟に選択できるよう、幅広いインターフェースを用意しています。後半の工程で組み込む場合や外部インターフェースを使用する場合、エンドユーザー側でのカスタムに TONiC リードヘッド 1 個で柔軟に対応できます。

TONiC インターフェースの種類としては、デジタル出力、アナログ出力、デジタル/アナログ出力をご用意しています。TD インターフェースでは 2 種類の分解能を切替え可能で、DPI インターフェースでは幅広いフォーマットの印刷用途に対応しています。多種多様な構成に対応できる TONiC の柔軟さは、OEM 各社が高度なモーションコントロールや高い処理量を実現するうえで有効と言えます。

対応インターフェース

TD (デュアル分解能) インターフェース

  • 選択可能なデュアル分解能のデジタル信号出力
  • 高速移動と高精度の位置決めを必要とする用途に最適
Ti インターフェース(スクエア)

DOP (デュアル出力) インターフェース

  • デジタル信号と 1Vpp のアナログ信号を同時出力
  • 移動軸と複数動作を同期させる用途向けに設計TONiC デュアル出力(DOP)インターフェース

DSi (Dual Signal interface: デュアルシグナルインターフェース)

  • DSi は、REXM20 リング (パーシャルアークは REXT20 リング) に取り付けた 2 個の TONiC リードヘッドのインクリメンタル信号を組み合わせて、ベアリングの振れによる影響を補正し、偏心などのハーモニックエラーを排除して、取付け誤差を平均±2.0arc 秒に抑えます。


TONiC デュアルシグナルインターフェースと RESM ロータリーリング

診断キット (アクセサリ)

TONiC™ 診断キット(ソフトウェアとハードウェア)

TONiC 診断ソフトウェアを使用すると、TONiC エンコーダを最適な状態で取り付けて、統合的なシステムキャリブレーションを短時間で行なえるようになります。このソフトウェアは、TONiC 診断用ハードウェアと一緒に使う必要があります。このハードウェアの購入については、レニショーまでお問い合わせください (パーツ No. A-9411-0011)。ハードウェアは、USB ケーブル (キットに付属) で PC に接続するか、エンコーダの接続先機器を介して接続できます。

TONiC 診断キットの詳細をご覧ください。

技術仕様

対応スケール

超高精度ステンレススチールリング

REXT20: パーシャルアーク用

リードヘッドサイズ (長さ×厚さ×幅)

35mm×13.5mm×10mm

スケールピッチ

20µm

熱膨張率 (20℃時)15.5±0.5µm/m/℃

リング外径

52mm~417mm

ラインカウント

8,192~65,536 (リングサイズに依存)

リファレンスマーク

REXM: 1 個の IN-TRAC リファレンスマークを配置したリング

REXT: パーシャルアーク用に 2 個のリファレンスマークを配置

取付け精度 (2 個のリードヘッドを使用時)

(直径≥100mm)±1arc 秒

(直径 75mm)±1.5arc 秒

(直径≤57mm)±2arc 秒

最高速度

アナログ

デジタル

(詳細はデータシート参照)

-3dB で 3,673rev/min (52mm の REXM の場合)

3,673rev/min (52mm の REXM に分解能 5µm の TONiC を使用した場合)

周期誤差

平均 <±30nm

動的信号制御

オートゲインコントロール、オートオフセットコントロールなどのリアルタイム信号処理で、動作中にパフォーマンス最適化

インクリメンタル信号

アナログ

デジタル

(角度分解能の詳細はデータシート参照)

1Vpp (20µm 周期)

分解能 5µm~1nm

電気接続

ケーブル長 0.5m、1m、1.5m、3m、5m、10m、ミニコネクタ (TONiC インターフェースに直接接続)

電源

5V±10%、<100mA (アナログシステム)、<200mA (デジタルシステム) (未終端)

振動 (動作時)

最大 100m/s2@55Hz~2,000Hz

衝撃 (非動作時)

1,000m/s2、6ms、½ sine

動作温度 (システム)

0℃~+70℃

防水防塵性能

リードヘッド: IP40

インターフェース: IP20

詳細については、データシートを参照してください