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TONiC™ インクリメンタルエンコーダシステム with RELM20 リニアスケール

特徴

  • リードヘッドサイズ: 35×13.5×10mm
  • 最高分解能 1nm
  • 最高速度 10m/s
  • アナログ出力またはデジタル出力
  • 超低周期誤差: 平均±30nm 未満
  • 真空対応タイプもラインナップ
  • IN-TRAC™ オプティカルリファレンスマーク

メリット

  • ほぼゼロに抑えた熱膨張率で超高精度を確保
  • 動的信号処理でモーションコントロール性能が向上したコンパクトリードヘッド
  • 汚れに対する高い耐性
  • 診断キットで取付け上の問題を解決してシステムを最適化
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TONiC とは

TONiC はレニショーのコンパクトな非接触式エンコーダシステムです。最高速度は 10m/s で、Ti インターフェースと組み合わせた場合、リニアおよびロータリシステムとしての最高分解能は 1nm です。取付け公差が広く、ボタン 1 個でキャリブレーションを行えるため、短時間で簡単に取り付けられます。また、動的信号処理により、平均周期誤差±30nm 未満という優れた信号の安定性を確保し、優れたモーションコントロール性能を実現します。

RELM20 スケールとは

RELM20 は、ニッケルと鉄の合金である低熱膨張率の ZeroMet™ から作られたスケールで、目盛りが 20µm ピッチで刻まれています。
長さ 1.5m 以上で±1µm 以内の精度 (勾配とリニアリティを含む) という、ファインピッチのガラススケールに匹敵する性能を備えています。ZeroMet の熱膨張率は、20℃で約 0.75±0.35µm/m/℃です。
ニーズに合わせて、専用両面テープ取付けか機械式クリップ取付けを選択できます。どちらの取付け方式でも、機材に影響されない熱膨張率を維持できます。

このエンコーダシステムのメリット

取り扱いやすさ

熱膨張率が低い RELM20 ZeroMet スケールは、一般的なガラススケールよりも断面が薄いため、取扱いと取付けが簡単です。また、破損の危険性がなく、高精度が要求される用途にも最適です。

コンパクトサイズで究極の信頼性と性能を実現

TONiC リードヘッドには、優れた信頼性、一貫した性能、そして高い汚れ耐性を実現するための第三世代オプティカルフィルタ機構が実装されています。この機構は、低ノイズ (ジッタ) になるよう調整してあり、オートゲインコントロールやオートオフセットコントロールといった動的信号処理により強化されています。リードヘッドに内蔵したこれらの機能により、極めて優れた純度の信号と、平均±30nm 未満という非常に低い周期誤差が実現しています。これらが、多くの場面で要求される高いスキャニング性能に必要な、スムーズな速度制御と位置決めの安定性につながっています。

短時間で簡単に取付け

リードヘッドに搭載されているセットアップ LED が信号レベルを視覚的に表示します。アクセサリの診断キットを使用すると、リードヘッドが装置内に組み込まれている場合でも遠隔方式でシステム性能をチェックできます。リファレンスマークとインクリメンタル信号のキャリブレーションは、ボタンを押すだけで実行でき、機械的な調整や他の診断ツールも不要です。また、IN-TRAC オプティカルリファレンスマーク (ユーザーが位置選択可能) がインクリメンタルスケールに組み込まれているため、サイズがコンパクトに抑えられており、アライメントも簡易化しています。これにより、仕様範囲内の温度と速度において、分解能単位の両方向の繰り返し再現性を備えたリファレンスマーク出力が得られます。

対応インターフェース

TD (デュアル分解能) インターフェース

  • 選択可能なデュアル分解能のデジタル信号出力Ti インターフェース(スクエア)
  • 高速移動と高精度の位置決めを必要とする用途に最適

DOP (デュアル出力) インターフェース

  • デジタル信号と 1Vpp のアナログ信号を同時出力。
  • 移動軸と複数動作を同期させる用途向けに設計TONiC デュアル出力(DOP)インターフェース

診断キット (アクセサリ)

TONiC™ 診断キット(ソフトウェアとハードウェア)

TONiC 診断ソフトウェアを使用すると、TONiC エンコーダを最適な状態で取り付けて、統合的なシステムキャリブレーションを短時間で行なえるようになります。このソフトウェアは、TONiC 診断用ハードウェアと一緒に使う必要があります。このハードウェアの購入については、レニショーまでお問い合わせください (パーツ No. A-9411-0011)。ハードウェアは、USB ケーブル (キットに付属) で PC に接続するか、エンコーダの接続先機器を介して接続できます。

TONiC 診断キットの詳細をご覧ください。

技術仕様

対応スケール

RELM20: 中央にリファレンスマークを搭載した、高精度 ZeroMet スケール

RELE20: スケール端にリファレンスマークを搭載

リードヘッドサイズ (長さ×幅×厚さ)

35mm×13.5mm×10mm

スケールピッチ

20µm

熱膨張率 (20℃時)

0.75±0.35µm/m/℃

精度等級 (20℃時)

±1µm を保証 (校正は国際基準に対してトレーサブルです)

リファレンスマーク

IN-TRAC リファレンスマーク

リファレンスマークの位置は選択可能 (詳細はデータシート参照)

リミットスイッチ

デュアルまたはシングルリミット (発注時に選択)

スケール長

20mm~1.5m

最高速度

アナログ

デジタル

(詳細はデータシート参照)

-3dB で最高 10m/s

最高 10m/s

周期誤差

平均<±30nm

動的信号制御

オートゲインコントロール、オートオフセットコントロールなどのリアルタイム信号処理で、動作中にパフォーマンス最適化

インクリメンタル信号

アナログ

デジタル


1Vpp (20µm 周期)

分解能 5µm~1nm

電気接続

ケーブル長 0.5m、1m、1.5m、3m、5m、10m、ミニコネクタ (TONiC インターフェースに直接接続)

電源

5V±10%、<100mA (アナログシステム)、<200mA (デジタルシステム) (未終端)

振動 (動作時)

最大 100m/s2@55Hz~2,000Hz

衝撃 (非動作時)

1,000m/s2、6ms、½ sine

動作温度 (システム)

0℃~+70℃

防水防塵性能

リードヘッド: IP40

インターフェース: IP20

詳細については、データシートを参照してください。