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SEM-ラマンシステム

SEM-ラマンシステムは、1 台のシステムで、サンプルの特性を包括的に in situ 測定できます。2 種類のテクノロジーを統合することで、利便性、効率、生産性を向上します。

レニショーの Structural and Chemical Analyser (SCA) インターフェースを使用すると、走査型電子顕微鏡 (SEM) で inVia のラマンポイント測定とマッピング能力を活用できるようになります。

ラマンと SEM

inVia と SCA インターフェースにより、in-SEM 分析技術が使用でるようになります。光学顕微鏡ベースのラマン分光測定を補完し、旧来の in-SEM 分析技術であるエネルギ分散型 X 線分析 (EDS) が持つ制約を克服できます。SEM-Raman システムのメリットとしては、同位置での形状分析、元素分析、化学分析、物理的分析、電気的特性分析などがあります。

サンプルの高分解能イメージの作成と元素分析には SEM を使用します。また、ラマン分析能力を活用することで化学情報とイメージを取得し、化学組成が同じ場合でも、材料と非金属を特定できます。

SCA と inVia は、ラマン分光測定だけでなく、フォトルミネセンス分光測定 (PL) やカソードルミネッセンス分光測定 (CL) にも対応しています。

同位置分析のための複合システム

複合システム 1 台で、貴重な時間を節約できます。2 台の測定の間でサンプルを移動する必要がなく、サンプルの間違った領域を分析する心配がありません。

inVia と SEM はそれぞれを独立したシステムとしても同時にも使用できます。性能面にも影響はありません。ラマンシステム、SEM システム、SEM-ラマンシステムという 3 種類のシステムがまとまったシステムと言えます。

SEM-ラマンイメージング

SEM-SCA のオプションである in-SEM マッピングステージを使用することで、応力や歪みの空間的変化を確認して、欠陥の特性を評価できます。また、複合材料の分子および結晶特性を示すイメージを取得できます。

同じ位置を、同時に

サンプルを移動させることなく、同じ位置から同時にラマンと AFM データを取得できるため、データに対する信頼性が得られます。高速で分析でき、サンプルを忠実に表すデータを確保できます。

最適なシステムをお選びください

レニショーの SCA インターフェースは、既存の SEM に追加して使用できます。ポートに取り付けるため、SEM を改造する必要も一切ありません。下記の主要メーカーの SEM に SCA を取り付けた実績があります。

  • Zeiss
  • FEI
  • TESCAN
  • JEOL
  • 日立

詳細について

プロダクトノートのダウンロード

  • プロダクトノート:  同位置分析用 SEM-ラマンイメージングシス テム プロダクトノート: 同位置分析用 SEM-ラマンイメージングシス テム

    レニショーの SEM-ラマンシステムは唯一無二のシステムで、サンプルの同じ領域から SEM(走査型電子顕微鏡)データとラマンデ ータを同時に取得できます。そのため、サンプルを他の場所に移したり装置間で移動する必要がなく、短時間で比較分析を行えます。 また、サンプルを別の場所に移動した場合に発生するサンプルの位置合わせという問題を回避することができます。

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最適なシステムをお選びください

具体的なご要望に関するご相談は、当社の SEM エキスパートまでお問い合わせください。

SEM の最新ユーザー事例


地質学者によりナノワールドの探求に活用されるレニショーのラマン in-SEM ソリューション

フランスの Orleans を拠点とする BRGM (地質鉱山研究所) の研究者は鉱物の物理的、化学的、構造的特性について研究している。同位置分析が行えるレニショーの SEM-ラマンシステムを活用し、in situ 測定で総合的なサンプル特性評価を行っている。

ラマン分光に走査型電子顕微鏡を組み合わせて無機物および鉱物サンプルの研究を行う、 Geological Institute of Romania (ルーマニア地質研究所)

Geological Institute of Romania は、レニショーの SCA インターフェースを介して、走査型電子顕微鏡で inVia™ コンフォーカルラマンマイクロスコープのラマン分析能力を活用している。