ロータリインクリメンタル UHV エンコーダステップ 2: 下記の、UHV (超高真空) 対応タイプロータリインクリメンタルエンコーダシリーズから選定します。TONiC™TONiC は、20µm ピッチ用のコンパクトなエンコーダシステムです。TONiC UHV と RESM20RESM20 ステンレススチールロータリ (角度位置決め用) リングと、20µm ピッチ用の TONiC UHV インクリメンタルリードヘッド。インターフェースも各種ラインナップしています。TONiC UHV と REXM20REXM20 高精度ステンレススチールロータリ (角度位置決め用) リングと、20µm ピッチ用の TONiC UHV インクリメンタルリードヘッド。インターフェースも各種ラインナップしています。 光学式エンコーダシリーズリニアインクリメンタルリニアインクリメンタル UHVリニアアブソリュートリニアアブソリュート UHVパーシャルアークインクリメンタルパーシャルアークアブソリュートロータリインクリメンタルロータリインクリメンタル UHVロータリアブソリュートロータリアブソリュート UHVロータリアブソリュート ETR ポジションエンコーダ磁気式エンコーダ光学式エンコーダ干渉式レーザーエンコーダ