ロータリーインクリメンタル UHV エンコーダステップ 2：下記の UHV（超高真空）対応型ロータリーインクリメンタルエンコーダシリーズから選定します。TONiC™TONiC は 20µm ピッチ用の超コンパクトなエンコーダシステムです。RESM20 と TONiC UHVRESM20 ロータリー（角度位置決め用)ステンレススチールリングおよび各種インターフェースと組み合わせる、20µm ピッチ用の超コンパクトな TONiC UHV（超高真空）対応型インクリメンタルリードヘッドREXM20 と TONiC UHVREXM20 ロータリー（角度位置決め用)超高精度ステンレススチールリングおよび各種インターフェースと組み合わせる、20µm ピッチ用の超コンパクトな TONiC UHV（超高真空）対応型インクリメンタルリードヘッド 光学式エンコーダシリーズリニアインクリメンタルリニアインクリメンタル UHVロータリーインクリメンタルロータリーインクリメンタル UHVリニアアブソリュートリニアアブソリュート UHVロータリーアブソリュートロータリーアブソリュート UHVロータリーアブソリュート ETR ポジションエンコーダ磁気式エンコーダ光学式エンコーダ干渉式レーザーエンコーダ
