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RESOLUTE™ UHV 光学式アブソリュートエンコーダの RGA (残留ガス分析) の試験結果

レニショーでは、各種 RESOLUTE 真空システムの RGA (残留ガス分析) データを提供しています。真空環境へのエンコーダシステムの影響を示すデータです。

RGA の試験結果

試験の詳細

RGA (残量ガス分析) データの収集には質量分析計 (AccuQuad 200 RGA) を使用。真空室圧力はイオンゲージ (G8130) で測定。最初のシステム調整後、空の試験真空室のデータをバックグラウンドスペクトルとして使用。

真空システム (0.0035m3) にコンポーネントを配置。周囲温度にて 24 時間にわたり KJL Lion 802 (800/s) ダイオードイオンポンプと Divac ダイヤフラムポンプにて真空状態にし、その後、バックグラウドデータを再度記録。システム圧力が 5×10-9mbar よりよければ、試験片を 120℃で 48 時間ベーキング。その後システムを周囲温度にまで下げ、最終的な質量スペクトルと全測定圧を記録。最終的な RGA データの結果を下記に示します。

注:

RGA データは真空システムの条件、仕様、性能に依存するため、これらの結果は厳密に再現はされません。しかし、RGA (残量ガス分析) の結果からは、RESOLUTE UHV が原因と見られる深刻な汚染は確認されず、この製品により UHV 条件を確保できることが示されました。

RESOLUTE UHV の RGA 画像