ナビゲーションのスキップ

RESOLUTE™ UHV アブソリュートエンコーダシステム with RELA30 リニアスケール

特徴

  • シリアルインターフェース: BiSS® C、Panasonic
  • リードヘッドサイズ: 36×16.5×17.2mm
  • 最高分解能 1nm (100m/s 時)
  • 精度±1µm (20℃時)
  • 熱膨張率 (20℃時): 0.75±0.35µm/m/℃

メリット

  • ほぼゼロに抑えた熱膨張率で超高精度を確保
  • 真空環境向けの低ガス放出
  • 10nm 未満のジッタで位置決めの安定性が向上
  • ±40nm の周期誤差でスムーズな速度制御を実現
  • 高度診断ツールにも対応
ウェブサイトバナー用透明パッチ

RESOLUTE UHV とは

RESOLUTE UHV は、超高真空環境用のアブソリュートエンコーダです。損傷のリスクを低減しながら、処理量と信頼性を高められます。

RESOLUTE のパフォーマンスは、UHV 環境向けに設計された他のアブソリュートエンコーダを上回ります。100m/s で 1nm の分解能を備えており、画期的な仕様を実現しています。

英国女王(法人)賞:2015 年度イノベーション賞

2015 年度英国女王 (法人) 賞のイノベーション部門賞を受賞

RELA30 スケールとは

RELA30 は、ニッケルと鉄の合金で、熱膨張率が低い ZeroMet から作られたスケールで、絶対位置スケールコードが 30µm ピッチで刻まれています。
長さ 1m で±1µm 以内の精度 (勾配とリニアリティを含む) という、ファインピッチのガラススケールに匹敵する性能を備えています。ZeroMet の熱膨張率は、20℃で約 0.75±0.35µm/m/℃です。
ニーズに合わせて、専用の UHV 対応両面テープか機械式クリップによる取付け方式を選択できます。どちらの取付け方式でも、機材に影響されない熱膨張率を維持できます。

このエンコーダシステムのメリット

トラブルシューティングとトラブル解決が簡単

高度診断ツール ADTa-100 で、RESOLUTE™ リードヘッドからさまざまなリアルタイムデータを取得できます。取得したデータは、使い方が簡単なソフトウェアの ADT View で表示します。システムのセットアップには、リードヘッド内蔵のセットアップ LED で十分なことがほとんどですが、高度診断ツールは、通常よりも取付け条件が難しい場合に使用します。また、高度診断ツールをエンコーダパフォーマンスの確認に使用したり、システムのトラブルシューティング時に活用してダウンタイムの長期化を回避したりできます。

UHV (超高真空) 対応タイプ

RESOLUTE UHV は、レニショーの革新的なアブソリュートエンコーダ技術を進化させて開発された、10-9Torr までの UHV (超高真空) 条件下で使用できるリードヘッドです。RESOLUTE UHV は、クリーンな RGA (残量ガス分析) を基に製造しているため、高性能、半導体、科学分野に最適です。

広い取付け公差

RESOLUTE UHV は、2 本のトラック (インクリメンタル 1 本、アブソリュート 1 本) を横に並べて配置するという従来方法を採用していないため、ヨー方向のわずかな角度のずれによる位相ずれの問題が発生しません。代わりに、絶対位置と位相情報を 1 点のコードにまとめた、単一トラックの光学式アブソリュートスケールを採用しています。これにより、RESOLUTE UHV の取付け公差は広くなっているため (ヨー公差±0.5°)、短時間で簡単に取付け可能で、また軸が静止する場合でも動く場合でも長期にわたって優れた信頼性を確保しています。さらに、取付けの精度を簡単に診断するためにセットアップ LED がリードヘッドに組み込まれています。

高度診断ツール ADTa-100 (アクセサリ)

高度診断ツール ADTa-100

RESOLUTE エンコーダシステムは、高度診断ツール ADTa-100 とソフトウェアの ADT View に対応しています。取付けや診断が難しい場合に役に立つ、エンコーダのさまざまなデータをリアルタイムで取得できます。ソフトウェアのインターフェースは直感的な作りになっています。また、下記の機能が使用できます。

  • リモートキャリブレーション
  • 軸のフルストロークにわたる信号の最適化
  • エンコーダ位置をデジタル表示 (スケールに対する相対位置)
  • データのエクスポートと保存
  • 原点の設定

シリアルインターフェース

シリアルインターフェース説明データシート対応製品
BiSS C

レニショーアブソリュートエンコーダは、BiSS C (単一方向) オープンプロトコルに対応しています。BiSS C は高い加速度、スムーズな速度制御、優れた繰り返し精度、確実な位置決めの安定性が求められる動性の高い軸に最適な高速シリアルインターフェースです。
BiSS C 対応の RESOLUTE には、各種業界標準コントローラ、ドライバ、DRO、PC カウンタカードを使用できます。またリニアとロータリ (角度位置決め用) システムのどちらとしても使用できます。

RESOLUTE BiSS C

BiSS C 対応製品ページ

Panasonic

Panasonic シリアルインターフェース対応の RESOLUTE は、リニアシステムとロータリシステムのどちらとしても使用できます。A5 および A6 シリーズのサーボドライバに対応しており、高分解能で繰り返し精度の高いフィードバックを返せるため、サーボ制御と速度制御が向上します。

RESOLUTE Panasonic

該当なし

技術仕様

対応スケール

絶対位置コードの高精度 ZeroMet スケール

リードヘッドサイズ (長さ×幅×厚さ)

36mm×16.5mm×17.2mm

スケールピッチ

公称 30µm

熱膨張率 (20℃時)

0.75±0.35µm/m/℃

精度等級 (20℃時)

±1µm を保証 (校正は国際基準に対してトレーサブルです)

スケール長

BiSS C プロトコルバージョンによっては最大長が制限されます

(詳細はデータシート参照)

80mm~1.5m

最高速度

(詳細はデータシート参照)

最高 100m/s

シリアルインターフェース*

BiSS C、Panasonic

分解能

BiSS C: 50nm、5nm、1nm

Panasonic: 100nm、50nm、1nm

周期誤差

±40nm

電気接続

最大ケーブル長 10m、フライングリード

電源

5V±10%、最大 250mA@5V (終端)

振動 (動作時)

最大 100m/s2@55~2000Hz

衝撃 (非動作時)

1,000m/s2、6ms、½ sine

動作時温度

0℃~+75℃

ベーキング温度 (非動作時)

120℃

防水防塵性能

IP30

ケーブルの仕様

銀メッキ銅縒りシングルシールド。錫メッキ銅線のフッ素樹脂皮膜芯線。

詳細については、データシートを参照してください。

*他のシリアルインターフェースも随時追加しています。