インクリメンタル UHV リニアエンコーダ
ステップ 2：下記の UHV（超高真空）対応型リニアインクリメンタルエンコーダシリーズから選定します。
TONiC™
TONiC は 20µm ピッチ用の超コンパクトなエンコーダシステムです。
RG2
RG2 は 20µm ピッチ用の堅牢なエンコーダシステムです。
ステップ 2：下記の UHV（超高真空）対応型リニアインクリメンタルエンコーダシリーズから選定します。
TONiC は 20µm ピッチ用の超コンパクトなエンコーダシステムです。
RG2 は 20µm ピッチ用の堅牢なエンコーダシステムです。
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