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インクリメンタル UHV リニアエンコーダ

ステップ 2:下記の UHV(超高真空)対応型リニアインクリメンタルエンコーダシリーズから選定します。

TONiC™

TONiC は 20µm ピッチ用の超コンパクトなエンコーダシステムです。

RG2

RG2 は 20µm ピッチ用の堅牢なエンコーダシステムです。