UHV 対応タイプインクリメンタルリニアエンコーダ
ステップ 2: 下記の、UHV (超高真空) 対応タイプインクリメンタルリニアエンコーダシリーズから選定します。
TONiC™
TONiC は、20µm ピッチ用のコンパクトなエンコーダシステムです。
RTLC20 リニアステンレススチールテープスケールと、20µm ピッチ用の超コンパクトな TONiC UHV インクリメンタルリードヘッド。機材に直接取り付けられる両面テープタイプのスケール、FASTRACK™ を使用して取り付けるタイプのスケール、どちらとも組み合わせ可能です。インターフェースも各種ラインナップしています。
RKLC20-S リニアスリムステンレススチールテープスケールと、20µm ピッチ用の超コンパクトな TONiC UHV インクリメンタルリードヘッド。機材へのマスタリングにより測定性能が向上しています。
熱膨張率が低い ZeroMet™ 製 RELM20 スケールと、20µm ピッチ用の超コンパクトな TONiC UHV インクリメンタルリードヘッド。インターフェースも各種ラインナップしています。
RSLM20 ステンレススチールスケールと、20µm ピッチ用の超コンパクトな TONiC UHV インクリメンタルリードヘッド。インターフェースも各種ラインナップしています。
RGSZ20 リニアゴールドテープスケールと、20µm ピッチ用の超コンパクトな TONiC UHV インクリメンタルリードヘッド。インターフェースも各種ラインナップしています。