inLux™ SEM-Raman インターフェース
SEM での in-situ ラマン分析のソリューション
inLux™ SEM ラマンインターフェースは、お使いの走査電子顕微鏡 (SEM) で高度なラマン機能を実現するための画期的な製品です。SEM でのイメージング中に、2D イメージや 3D イメージの基となるラマンスペクトルを同時収集できるようになります。SEM でのイメージング時とラマンデータ収集時とでサンプルを動かす必要がないため、ラマンイメージと SEM イメージの同じ場所を正確に簡単に参照できます。
inLux インターフェースはさまざまなラマン機能を実装しています。1 点ずつスペクトルを収集することも、複数点まとめてスペクトルを収集することもできます。また、2D および 3D の共焦点ラマンイメージの生成も可能です。inLux インターフェースはこのような機能に標準対応しているため、各軸で 0.5mm を超える容積の分析が可能です。また、最高分解能 50nm のエンコーダ式位置制御により、精密なラマンイメージングを実現しています。
主なメリット
- 豊富な情報 - ラマン分析、フォトルミネッセンス (PL) 分析、スペクトルカソードルミネッセンス (CL) 分析を同時に実施でき、加えて SEM イメージングも合わせて取得しておくことができます。
- 汎用性の高さ - inLux インターフェースは、各メーカーから販売されている幅広いチャンバサイズの SEM に、SEM 側を改造することなく取り付けられます。
- 非侵襲 - inLux プローブの後退は 1 クリックで可能です。プローブを使用しないときに、他の SEM 機能やワークフローと干渉することはありません。
- 分布の判定 - 共焦点ラマンイメージを標準で生成できるため、サンプルの不均一さを簡単に検出できます。
- サンプルの観察 - サンプルや特定の観察領域の広域の光学イメージやモンタージュを生成できます。
- 仕様変更が可能 - 励起レーザー波長の異なるレーザーを 2 基まで、またオプションで CL モジュールを搭載できます。
- 自動 - 解析が難しいサンプルのラマン分析時には、1 クリックでレーザー波長を切り替えられます。
inLux インターフェースの活用事例
汚染物質の特定
ラマン分光は、高度な化学情報を取得できる、非接触かつ非破壊の技術で、汚染物質の特定に最適です。元素分析で区別が難しい炭素汚染物質や有機汚染物の分析に、特に真価を発揮します。光学顕微鏡法では対処できない小さな汚染物質粒子の検出と形状把握には、SEM を利用します。そしてこれらの粒子を、サンプルは同じ場所に置いたまま、inLux インターフェースでラマン分析します。
材料分析
材料の新規特性の多くは、そのサイズや形状、厚さが要因です。走査型電子顕微鏡を高倍率で使わなければサンプルを観察できない例として、グラフェンやナノロッド、ナノチューブがありますが、そういった材料の化学的な性質や構造上の性質だけでなく、物理的な特性についても明らかにできるのがラマン分析です。inLux インターフェースなら、SEM イメージと関連をもたせた、透明性、歪みそして電子特性を示したラマンイメージを生成できます。
レニショーラマンシステムとの接続
inLux インターフェースは、レニショーが製造するラマン分光器およびラマンソフトウェアと組み合わせて使用します。シンプルな使いやすさと、高度な処理分析機能を兼ね備えています。汚染物質の特定から学術的な研究にいたるまで、inLux インターフェースは SEM のポテンシャルを最大限まで引き出します。
Virsa™ ファイバーラマン装置
ラマン分析に特化した場合なら、inLux インターフェースは Virsa ファイバーラマン装置に接続します。Virsa は、ラック設置型の本体に研究グレードの性能を搭載した高感度かつ高波数分解能のコンパクトラマンシステムで、費用対効果の高い SEM とラマンのその場分析を実現します。
Virsa の詳細
inVia™ コンフォーカルラマンマイクロスコープ
inLux インターフェースを inVia コンフォーカルラマンマイクロスコープに接続することで、世界的ベストセラーラマンマイクロスコープに SEM 分析を追加できます。inVia は、性能と感度で世界トップクラスを誇るラマンマイクロスコープで、レーザー励起波長やディテクタ、グレーティングを選択構成可能です。ラマン分光が得意とする材料の分析に最適です。inVia は単独でラマン分析が可能なため、in-situ 測定を行わないときは、SEM を他のタスクに割り振ることができます。
inVia ラマンマイクロスコープの詳細詳細について
お使いの SEM に inLux SEM-Raman インターフェースを使用できるかどうかご興味をお持ちの場合は、SEM の構成をお知らせください。以下のリンクからフォームをご記入いただければ、担当者がご連絡を差し上げます。
ダウンロード: inLux SEM-Raman インターフェース
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Brochure: inLux™ scanning electron microscope Raman interface [en]
The innovative inLux SEM Raman interface brings high-quality Raman functionality to your SEM chamber. Now you can collect Raman spectra that can produce images in 2D and 3D whilst simultaneously imaging in SEM.
仕様
| パラメータ | 値 |
| 質量 | <20kg |
| 光ファイバーケーブルの長さ | 4.6m |
| 対応ラマン分光器 | レニショー inVia コンフォーカルラマンマイクロスコープ、レニショー Virsa ファイバーラマン装置 |
| 対応 SEM モデル | 主要な全 SEM サプライヤのモデル |
| SEM のポート要件 | SEM のサイドポートまたはリアポートを空ける必要があります |
| SEM のパフォーマンス | inLux インターフェースのために SEM を改造する必要はありません。使用しない場合は完全に後退するため、SEM の動作やその他アクセサリの動作と干渉することはありません。 |
| 動作制御 | トラックパッド、WiRE ソフトウェア |
| 接触保護 | タッチセンサー。アブソリュートエンコーダによる安全動作範囲モニタリング |
| レーザーの安全性 | チャンバの真空でインターロック |
| ラマンマッピング/イメージング | 標準提供 |
| 光ファイバーモジュールの選定 | 異なるレーザー励起波長 2 種 + オプションのカソードルミネッセンスモジュール |
| 対応レーザー励起波長 | 405nm、532nm、660nm、785nm (これら以外もご要望に応じ対応可能) |
| レーザーの切替え | 自動、電動、ソフトウェア制御 |
| 空間分解能 (横方向) | <1µm@532nm |
| 共焦点性能 | <6µm@532nm |
| 波数分解能 | 分光器の仕様をご覧ください |
| 寸法 | 幅 804mm×高さ 257mm×奥行 215mm |