不純物
ラマンの最も大きなアプリケーション分野の一つに、不純物の特定があります。世界中のあらゆる製造拠点でコンタミネーションの問題が有り、コンタミネーションにより、製造停止に陥ることがあります。また、原料や汚染物質の環境および規制モニタリングにも関連します。
コンタミネーションの例として、次のものが挙げられます。
- 半導体ウェハー状の粒子
- 金属品の腐食生成物
- 加工品上の油や切削液
- 薬品成分内の異物
- 大規模なウェハ施設内のポリマ粒子（マイクロビーズなど）
コンタミネーションのラマン分析
ラマン分光は、コンタミネーションを特定し、その根源を究明する上で優れた技術です。レニショーのラマンシステムを使用すると、可能な限り最高のデータが得られ、コンタミネーションを簡単かつ短時間で特定できます。これにより次のような機能が得られます。
- サブミクロン単位の空間分解能で高感度 - わずかな材質の痕跡や薄膜も分析可能
- ラマンスペクトルデータベース - コンタミネーションを短時間で同定可能
- UV から IR までのマルチレーザー 対応– 様々な範囲のサンプルを分析できるフレキシビリティ
- 非破壊式/非接触式分析 - 異物の痕跡を維持
- サイズの異なる粒子の特定、分析、測定自動化もオプションで対応
問題を理解するレニショー
どんなに慎重に製造プロセスを行っても、状況の変化によりコンタミネーションが発生することがあります。
最先端の高度製造技術を備えるレニショーでは、高品質の製品で定評があります。レニショーのエンジニアも品質管理プロセスの一環で inVia Reflex コンフォーカルラマンマイクロスコープを使用しており、コンタミネーションに関する問題をよく理解しています。
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