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ATOM™ で実現する、FPD の高速・高精度な検査と修復

2017 年 1 月 11 日

有名な韓国のモーションコントロール用部品のメーカー TPC 社は、レニショー製超小型リニアエンコーダシステム ATOM を X 軸と Y 軸に組み込んだレーザー開口絞り(オプチカルスリット)アセンブリを開発しました。この開口絞りは、FPD アセンブリや金属フォトマスクのレーザーを使用した修復向けのコンパクトで高精度な開口制御を実現します。

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