光学式エンコーダのケーススタディおよびアプリケーションノート

真空技術は、多くの精密製造工程で活用されている。例えば一般的な例として、半導体ウェハの検査、ウェハの接合、フォトリソグラフィ、薄膜の蒸着などが挙げられる。VAD 社は、自社の真空対応プラットフォーム用に TONiC UHV エンコーダを採用した。

高周波エレクトロニクス製品の大量生産には、高性能の PCB インピーダンス測定機が求められる。精密機械メーカーの Sam-Jeong Automation 社は、次世代プリント基板インピーダンス測定機に求められる速度、精度そして繰り返し再現性を確保するため、TONiC™ を採用している。

レニショーの TONiC は、グラフィックアート業界向けのデジタルエンハンスメントプリントプレスの製造において市場をリードする Scodix 社にとって手軽なソリューションとなった。このエンコーダにより、Scodix Ultra シリーズに採用されている特許取得の印刷基板搬送システムの自動フィードバック制御が実現した。

モーションコントロールコンポーネントの製造大手の TPC Motion (TPC) 社 (韓国) は、複数の X と Y 軸上にレニショーの ATOM™ 超小型リニアエンコーダシステムを搭載したレーザーアパーチャストップ (光学スリット) アセンブリを開発した。

多種多様なフォトニクス装置の設計および製造を行う Thorlabs 社では、レニショーのエンコーダがすべての試験で他社製品を上回る結果を出したことを受け、長さ 600mm の DDS600 移動ステージと MLS203 顕微鏡ステージの両方に TONiC の採用を決定した。

台湾の Industrial Technology Research Institute (ITRI) 社は、高度な 2 軸ロータリテーブルを開発することで、多軸工作機械の技術トレンドに対応している。このロータリテーブルには、Panasonic シリアル通信プロトコルと RESOLUTE が組み込まれている。

半導体業界向けのウェハアセンブリとパッケージング機器を製造する世界最大のメーカー、ASM Pacific Technology Ltd (ASMPT) 社は、完全な FA ソリューションを提供することと、コスト効果に優れた革新的な製品により顧客のニーズを満たすことを目指している。

高度な産業プロセスは等速制御がないと成り立たない。だが、従来のようなモータ設計だとコギング力が発生し、このコギング力によってモータ速度にリップルが生じる。KOVERY 社は先進的なリニアモータを設計しているが、この問題を解決するためにレニショー製エンコーダを採用している。

U-Precision 社は、北京に拠点を構える、精密産業装置製造におけるマーケットリーダー企業だ。同社の高性能半導体装置やモーションステージには、レニショーの TONiC が採用されている。

Haozhi 社はダイレクトドライブロータリテーブルやリニアモータを製造している企業だ。これらの製品だけでなく、同社はレニショー製の光学式エンコーダを採用することで競合を凌ぐ製品を世に送り出している。

モーションコントロールシステムは FPD 製造装置にとって不可欠な存在だ。製造精度確保の重責を担う。韓国発の JUSTEK 社は、レニショー製高性能光学式ポジションエンコーダを用いて、カスタム可能なダイレクトドライブモータを多数開発し、成功を収めている。

Chieftek Precision 社は、競合に負けない高性能な DD モータを製造しているが、その一助になったのがレニショーのコンパクトエンコーダである。

NC ロータリテーブルは複合加工機のパフォーマンスにおいて重要な役割を担う。テーブルの精度と信頼性が製品寿命中で極めて重要な意味を持つため、キャリブレーション製品とエンコーダを見直し、割り出し誤差の低減と性能の向上を図った。

堅牢な機械設計と位置フィードバックで測定誤差を最低限に抑えている三次元測定機を DUKIN 社がどのように設計しているかを取り上げる。DUKIN 社の製品ラインナップがさまざまな精度や要件に対応すべく拡充されているが、それを支えるのがレニショー製エンコーダだ。

SOLPOWER は、ダイレクトドライブ (DD) ロータリテーブル、一体型主軸モータ、リニアモータなどの工作機械用部品を製造する台湾のメーカーだ。DD 機構の高性能フィードバック制御には、レニショーの RESOLUTE エンコーダが貢献している。

レニショーの革新的な三次元測定機用マルチセンサー 5 軸測定ヘッドの改良版、REVO-2 は、両軸 (ヨーとピッチ) に RCDM ガラス製ロータリ (角度位置決め用) スケールと ATOM インクリメンタルエンコーダを採用している。

継続的な製品開発活動、水平型組織構造と合理化された各モデルサイズにより、COORD-3 社は世界的な三次元測定機ブランドとしての地位を確立している。レニショーは、COORD-3 社にさまざまな高精度計測製品を提供しており、長年にわたって双方に有益な関係を継続している。

レニショーの RESOLUTE™ エンコーダは、マイクロエレクトロニクスやマイクロ光学産業に使用される高精度組立てシステムに求められる、最大の工程信頼性を保証する革新的な真のアブソリュート測定システムだ。

フランスのテクノロジー企業 IRELEC Alcen 社は、世界各地のシンクロトロン施設向けに光学機械システムやロボットシステムを製造している。また、同社の強みは、X 線を目標物にフォーカスさせるカスタムミラーシステムの製造にある。同社によるシンクロトロンの改良には、レニショーの位置測定製品が貢献してきた。

レニショーの RESOLUTE エンコーダは、SYMÉTRIE 社の GICS (Ground Integration and Calibration Support) および IA DEA (Interferometry Assembly Detection Electronics Assembly) ヘキサポッドをサポートするに至った。これらのヘキサポットは、メテオサット第 3 世代 (MTG) 気象衛星の製造に使用される高度コンポーネント検証試験のために設計された。

Instron 社は、ElectroPuls™ E3000 全電気式試験装置の二軸モデルを展開している。ElectroPuls コントローラに対応でき、他のすべての条件をクリアできる光学式アブソリュートエンコーダは、1nm の位置決め分解能と 20m/s 以上の速度を備えたレニショーの RESOLUTE™ のみだ。

大判シートや金属シートの高精度切断にレーザーを用いるファイバレーザー加工に、RKL のようなレニショー製の機材一体型エンコーダスケールがどのように活用できるかについて考察する。

本記事では、ATOM の製造に用いられた先進的製造技術について取り上げる。また、ATOM が優れた測定性能を発揮しつつ、REVO-2 製造工程の効率化にいかに貢献したのかの実例についても言及する。

VIONiC エンコーダは微細加工などの精密製造プロセスへの使用に特化している。本記事では、レーザー加工にて適切なエンコーダを選定することがいかに重要かを記載する。

エンコーダシステムの選定時、スケールの熱特性は重要な検討事項だ。本記事では、マスタリングスケールが好ましいを思われる三次元測定機でのポジションエンコーダの事例を紹介する。

この記事では近年のフォトリソグラフィにおける位置フィードバックの使用や最新の光学式エンコーダの潜在的な用途について触れている。また、性能を落とさずに機械のダウンサイズに貢献する従来のレーザーエンコーダについても触れる。

太陽光は、主要な発電源になる可能性が高く、太陽光発電には多くの商機が見込める。太陽電池セルの製造工程に、すべての段階でモーションコントロールが不可欠だ。この記事では、太陽電池セルのさらなる技術革新と高度化においてエンコーダとモーションコントロールが果たす役割について検討する。

VIONiC は、オールインワン形式の超高精度デジタルインクリメンタルエンコーダである。この記事では、特に、微細加工、微小位置決め、精密工学部品製造といった分野での、高性能エンコーダシステムの重要な役割について検討する。

機械全体の設計においてエンコーダの性能を評価する際には、制御ループの構造が重要な検討事項だ。そして、高精度モーションステージの設計における不安定性を軽減する方法は無数にある。この記事では、従来から超ファインピッチのインクリメンタルエンコーダを必要としてきた場面での、RESOLUTE™ エンコーダの可能性を検討する。

RESOLUTE FS (Functional Safety: 機能安全) エンコーダは、RESOLUTE シリーズと同等の優れた性能を発揮するだけでなく、世界でも最も厳しい機能安全の基準に準拠しているという安心感を提供する。RESOLUTE エンコーダは、最新鋭の協働ロボットや産業用製造技術にも今では活用されるようになっている。