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超真空対応型（UHV）光学式エンコーダ

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UHV montage レニショーの UHV エンコーダは、10-11 TORR までの低い真空圧力に対応しています。RGH25F エンコーダシステムは、リニアおよび部分アークアプリケーションに RGS20-S テープスケールと共に使用できます。RGH20F UHV リードヘッドは、RESR 角度位置決め用エンコーダと共に使用して、高精度のロータリーフィードバックを得ることができます。2010 年の第2四半期からは、TONiC™ UHV リニアエンコーダと TONiC™ UHV ロータリーエンコーダもこのシリーズに追加されます。

真空製品シリーズは、ウェハー処理/検査、科学計器、分光器、真空検査装置をはじめとする様々な用途に最適です。

UHV リードヘッドの機能とメリット

  • 真空対応の構造材と接着剤を使用し、低いガス放出率と立証されたクリーンな RGA（残留ガス分析）を実現
  • ベーキング温度 120℃
  • オープン非接触光学式システムのため、摩擦や摩耗がなく、高い信頼性の高速操作が可能です。
  • 1nm の分解能の業界標準のデジタル、アナログ出力
  • 電流消費を抑えて熱の発生を低減
  • 通気性シール
  • 適応型エレクトロニクスが高精度、長期にわたる信頼性を提供し、周期誤差を低減（RGH25F UHV と RGH20F UHV で ±50 nm、TONiC UHV で ±30 nm）
  • 真空対応型被覆配線付き RFI シールドケーブル
  • TONiC UHV エンコーダーはオプティカルリファレンスマークを使用しています。

詳細について...

RGH25F UHV 真空対応型リニアエンコーダ
RGH20F UHV 真空対応型ロータリー（角度位置決め用）エンコーダ
TONiC UHV 真空対応型リニアエンコーダ
TONiC UHV 真空対応型ロータリー（角度位置決め用）エンコーダ

製造中止のお知らせ

RGH25U と RGH25 UHV リードヘッド、および RGB インターフェースは、製造が中止されており、それぞれ RGH25F、RGH25F UHV、および REF インターフェースに切り替えられていますのでご注意ください。

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詳細 や価格についてのお問い合わせは、オンラインでお寄せ下さい。直接コンタクトをご希望の場合は、 現地レニショーオフィスまでご連絡ください。