TONiC™ UHV 真空対応型ロータリー（角度位置決め用）エンコーダ

TONiC UHV 角度位置決め用エンコーダリードヘッドは、RESM および REXM 超高精度リングなど、IN-TRAC™ オプティカルリファレンスマークを搭載し、正確に目盛りが刻み込まれたレニショーのロータリースケールに使用できます。これらのエンコーダシステムは、超真空条件で高精度の位置決めフィードバックを提供します。2010 年の第 2 四半期から発売されている TONiC UHV 角度位置決め用エンコーダは、妥協を許さない高性能と信頼性が求められる半導体や科学装置用に開発されています。

高性能 TONiC インクリメンタルリードヘッド

すべての TONiC リードヘッドには、超低ノイズを実現するために最適化されたレニショーの最新世代のオプティカルフィルター機構が使用されています。この最先端の設計に加え、オートゲインコントロール（AGC）、オートオフセットコントロール（AOC）などの動的信号処理が搭載されています。この結果、高純度の出力信号が得られ、±30nm の SDE、0.51nm RMS のノイズ（ジッタ）、0.00075 角度秒の分解能を実現しています。

すべての TONiC スケールには、インクリメンタルチャネルに IN-TRACオプティカルリファレンスマークが直接埋め込まれ、ボタンを押すだけで自動的に位相調整を行うことができます。従ってこの機能は、遠隔操作でも実施することができます。IN-TRAC リファレンスマークは、速度と温度の全可動範囲でその位相を維持するという利点も備えています。

高精度の一体型ステンレススチールリング

RESM リングは、コーティングのない 300 シリーズの一体型ステンレススチールから作られているため、必要に応じて特殊なクリーニングやグリース除去を行うことができます。狭い断面のこのリングは大きな内径を備えているため、質量とイナーシアを低く抑えながら設計を簡素化できます。このリングはレニショーの特許技術であるテーパー固定方式を採用しているため、微調整を簡単に行うことができ、広い温度範囲にわたって高い安定性を提供します。UHV アプリケーション用の RESM リングには 52mm から 550mm までの一連の直径をご用意していますが、ご要望によってカスタムサイズとより大きな直径も承ります。

高精度の軸には、TONiC UHV を REXM 超高精度リングに使用することもできます。直径 100mm 以上の REXM リングをデュアルリードヘッドと共に使用すると、±1 角度秒以下の取り付け精度を確保することができます。さらに DSi（デュアルシグナルインターフェース）により、2 つ目のリードヘッドの追加も簡単に行うことができます。DSi を使用すると、インクリメンタルチャネルとリファレンスマーク信号の統合を行い、これらの出力を 1 つの超高精度エンコーダ入力としてコントローラに送ることができます。

TONiC UHV リードヘッドは、低いガス放出率のために特別に選択された構造材と接着剤を使用して、専用のクリーンルームで製造されています。その後、完成した製品を真空対応の袋に密閉包装して、製品を清潔に保っています。

残留ガス分析（RGA）のテスト結果

独立機関によって実施された残留ガス分析（RGA）のテストの結果、システム全体が清潔な真空状態への使用に適していることが立証されています。さらに、超真空状態における 120 ℃のベーキングにも最適です。

この一般的なアプリケーションとしては、ウェハー処理/検査や科学研究が考えられます。

TONiC 超真空（UHV）対応型リードヘッドの RGA スペクトルの結果

グラフを拡大するにはここをクリックしてください

暫定的テスト結果： この RGA スペクトルは、ケーブルを取り付けていない状態の TONiC UHV リードヘッドの結果です。この製品の発売前に、このファイルを更新して UHV 対応ケーブルを取り付けた TONiC リードヘッドの RGA スペクトルを含める予定です。

重要！ TONiC インターフェースは UHV 環境の外に配置する必要があります。

RESR ロータリーリング（RESM リングと物理的に同一）の RGA スペクトルの結果

グラフを拡大するにはここをクリックしてください

RESR と RESM リングは、IN-TRAC リファレンスマーク機能を除いて、同一であることにご注意ください。IN-TRAC リファレンスマーク機能はステンレススチールに直接目盛りを刻み込んだものであるため、残留ガス分析（RGA）のスペクトルに影響を与えることはありません。

ダウンロード

オフラインエンコーダ製品コンフィグレータ