TONiC™ UHV 真空対応型リニアエンコーダ

TONiC UHV リニアエンコーダリードヘッドは、RELM Invar® や RSLM ステンレススチールスケールなど、IN-TRAC™ オプティカルリファレンスマークを搭載したレニショーの高精度リニアスケールに使用できます。これらのエンコーダシステムは、超真空条件で高精度の位置決めフィードバックを提供します。2010 年の第 2 四半期から発売されている TONiC UHV リニアエンコーダは、妥協を許さない高性能と信頼性が求められる半導体や科学装置用に開発されています。

高性能 TONiC インクリメンタルリードヘッド

すべての TONiC リードヘッドには、超低ノイズを実現するために最適化されたレニショーの最新世代のオプティカルフィルター機構が使用されています。この最先端の設計に加え、オートゲインコントロール（AGC）、オートオフセットコントロール（AOC）などの動的信号処理が搭載されています。この結果、高純度の出力信号が得られ、±30nm の SDE、0.51nm RMS のノイズ（ジッタ）、1nm の分解能を実現しています。

すべての TONiC スケールには、インクリメンタルチャネルに IN-TRACオプティカルリファレンスマークが直接埋め込まれ、ボタンを押すだけで自動的に位相調整を行うことができます。従ってこの機能は、遠隔操作でも実施することができます。IN-TRAC リファレンスマークは、速度と温度の全可動範囲でその位相を維持するという利点も備えています。

高精度真空対応スケール

RELM Invar スケールは、低熱膨張率を備え、1130mm までの長さでの測定精度が ±1µm 未満に保証されています。RSLM ステンレススチールスケールは、テープスケールの利便性と高精度を兼ね備えており、現在 10m までの長さでご利用いただけるようになっているため、特に妥協を許さない計測精度が求められる長軸での計測に最適です。

TONiC UHV リードヘッドは、低いガス放出率のために特別に選択された構造材と接着剤を使用して、専用のクリーンルームで製造されています。その後、完成した製品を真空対応の袋に密閉包装して、製品を清潔に保っています。

残留ガス分析（RGA）のテスト結果

独立機関によって実施された残留ガス分析（RGA）のテストの結果、システム全体が清潔な真空状態への使用に適していることが立証されています。さらに、超真空状態における 120 ℃のベーキングにも最適です。この一般的なアプリケーションとしては、ウェハー処理/検査や科学研究が考えられます。

TONiC 超真空（UHV）対応型リードヘッドの RGA スペクトルの結果

グラフを拡大するにはここをクリックしてください

暫定的テスト結果： この RGA スペクトルは、ケーブルを取り付けていない状態の TONiC UHV リードヘッドの結果です。この製品の発売前に、このファイルを更新して UHV 対応ケーブルを取り付けた TONiC リードヘッドの RGA スペクトルを含める予定です。

重要！ TONiC インターフェースは UHV 環境の外に配置する必要があります。

RSLM ステンレススチールリニアスケールの RGA スペクトルの結果

グラフを拡大するにはここをクリックしてください

システムの基本圧力 = 3 x 10-10 mbar。
スペクトルは主に水（H2O）とコバルト（CO）、二酸化炭素（CO2）、炭素（C）を示しています。炭素は通常、残留水が存在する環境での RGA とイオンゲージの高温フィラメントから生成されます。
これはクリーンなスペクトルです。

Invar® は、Arcelor Mittal の登録商標です。

ダウンロード

オフラインエンコーダ製品コンフィグレータ