TONiC™ RELM リニアエンコーダシステム

TONiC リードヘッドのすべての利点に Invar® RELM の計測性能を組み合わせることで、非常に高性能のエンコーダフィードバックを提供します。

最高 1nm の分解能と保証された ±1µm の精度、 低熱膨張率、 0.5 nm RMS の低ノイズ。

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RSLM スケールに使われる TONiC™リードヘッド RELM高精度リニアスケールは、ダイナミック信号処理と IN-TRAC™ 自動位相オプティカルリファレンスマークなどの機能とともに、高速性と非接触式の高い性能を備えています。RELM は高い堅牢性を持ち、従来はより精巧なファインピッチエンコーダシステムでしか得られなかったパフォーマンスに匹敵するものを提供します。±1µm の精度、低熱膨張率そして 1nm の分解能を備えた RELM は、非常に厳しい高精度モーションコントロールの要求を満たすことが可能です。

このシステムは以下のもので構成されます。

  • 20µm のピッチの Invar 製 RELM スケール
  • TONiC T1000 リードヘッド
  • Ti アナログ又はデジタルインターフェース

20µm のピッチの Invar 製RELM スケール

Invar 製 RELM スケール 20µm のピッチのRELM スケールは、ニッケルと鉄の合金で低熱膨張率の Invar から作られています。丈夫な Invar 材質は、一般的なガラススケールよりも狭い断面を実現しながら、取り扱いと取り付けが簡単で、破損の危険性がありません。

  • ご要望に応じてカスタム長のものも用意可能
  • 個々に ±1µm の精度を保証(国際規格に基づき校正)
  • 低い熱膨張率: Invar 材質製、0.6 µm/m/°C 未満(0℃ ~ 30℃)
  • IN-TRAC 自動位相オプティカルリファレンスマークが、最高システム速度 (10 m/s) でも両方向の繰返し再現性を実現
  • 中間点(RELM)と端点(RELE)のリファレンスマークを標準装備
  • 自由に設定できる磁気デュアルリミットで測定軸両末端を検出
  • データムクランプとクリップ、あるいは両面テープで簡単に機材に直接取り付け

 

TONiC T1010 リードヘッドと Ti インターフェースの機能と利点

  • TONiC リードヘッドと Ti インターフェース 周期誤差±30nm というファインピッチエンコーダに匹敵するパフォーマンスを提供。
  • コンパクトサイズ - 10.0mm×35.0mm×13.5mm(高×長×幅)
  • ほとんどのオープンタイプ光学式エンコーダでは不適な条件においても、優れた信号安定性を実現
  • ユーザーによる選択可能なゲインコントロール (AGC)機能 により 1Vpp のアナログ信号振幅を維持
  • 10 m/s および 70 ℃まで動作可能。
  • 新登場! 低ノイズ(ジッタ)のオプティカルフィルター機構が位置決めの安定性を改善
  • 業界標準のデジタル、アナログ出力
  • リードヘッドとインターフェースの LED により最適なセットアップとシステム診断を実現
  • UL 認定の高屈曲性ケーブル - リードヘッドとインターフェース間のケーブル長は最高 10m
  • RoHS に完全準拠

 

仕様

リードヘッドの寸法10.0 mm×35.0 mm×13.5 mm(高×長×幅)
出力(分解能)RS422: 5µm、1µm、0.5µm、0.2µm、0.1µm、50nm、20nm、10nm、5nm、1nm
アナログ: 1Vpp
リファレンスマークIN-TRAC自動位相オプティカル
リミットスイッチ自由に設定できる磁気デュアルリミット(リニアスケールのみでお使いいただけます)
最高速度10 m/s
クリアランス公差2.1±0.15 mm
スケールタイプInvar 製 RELM スケール(リニア RGSZ ゴールドテープスケール、RSLMリニアステンレススチール、RESM と REXMロータリーにも対応)
真空対応未対応

カタログ

  • カタログ: 非接触式位置決めエンコーダ [2.1MB] カタログ: 非接触式位置決めエンコーダ

    レニショーは多種多様な産業オートメーションのご要望に合致する光学、磁気の各方式のコンパクトなエンコーダシステムとキャリブレーションシステムを提供しています。本製品カタログでは高速光学式リニアエンコーダ、高精度角度位置決め用エンコーダ、丈夫なロータリー磁気式エンコーダ、そして各種レーザー干渉計を広範囲に選択して掲載致しました。

  • フライヤー: TONiC™ エンコーダシステム [1.9MB] フライヤー: TONiC™ エンコーダシステム

    IN-TRAC™ 自動位相オプティカルリファレンスマーク

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