SiGNUM™ リニアエンコーダ

非接触式による高速性とダイナミック信号処理を統合し、IN-TRAC™ 自動位相オプティカルリファレンスマークを搭載。SiGNUM™ リニアエンコーダは、非常に使いやすく、以前はよりデリケートなファインピッチエンコーダシステムでのみ使用可能であった水準のパフォーマンスを提供します。SiGNUM™ は、角度位置決め用エンコーダバージョンも用意しています。

オプション

Invar 製 RELM スケールは、熱膨張率が 0.6µm/m/℃ 未満で、各種の長さのものをご用意しています。頑強な Invar スケールは、一般的なガラススケールよりも狭い断面を実現しながら、取り扱いと取付が簡単で、破損の危険性がありません。最高±1µm の精度と 5nm の分解能を備えた RELM は、非常に厳しい高精度モーションコントロール要件を満たすことが可能です。

RSLM ステンレススチールスケールは、5m までの長さでファインピッチガラススケールに匹敵するパフォーマンスを備えます。RSLM は業界で初めて、5m で ±4µm 以内の測定精度（勾配とリニアリティーを含む）を提供します。RSLM はリール巻き式で、保管と取り扱いが簡単ですが、これを伸ばせばスケールとして機能します。さらに ±30nm という非常に低い周期誤差を備える RSLM は、優れたメトロロジー特性が不可欠な長距離測定用途に最適です。

技術情報

赤外 LED から 20µm 周期の反射性の金属格子のスケールに光が照射されます。このスケールが均質で、周期性が強いことが要求されますが、これは優れた回折格子である必要はありません。RG2 および RG4 リードヘッドと同様、SiGNUM™ リードヘッドは、多くのスケール周期値を平均して、汚れなどの非周期性の特徴を効果的に除去します。名目上の矩形波スケールパターンも除去されて、ディテクターでは純粋なサイン波型干渉縞が得られます。ここには複数フィンガー構造が採用されており、目が細かいために、4 つの対称位相信号という形態のフォト電流が得られます。これらを組み合わせて DC 成分を除去し、帯域幅を 500kHz 以上に維持しながら、高いスペクトル純度と低いオフセットを備えたサイン波とコサイン波信号出力を行っています。

これらの信号は、個々のチャネルのゲイン、オフセットを調整したり、SiGNUM™ リードヘッドの LED 光源をコントロールすることにより、さらにバランスとレベルコントロールを強化することができます。この結果、システムに固有の周期誤差（サブディビジョナルエラー - SDE）を ±30nm（スケール周期の 0.15%）に抑えます。インターポレータには、SiGNUM™ Si インターフェースの CORDIC アルゴリズムが使用されています。

インクリメンタルスケールには、黒い線に見える IN-TRAC™ リファレンスマークが組み込まれています。これは、インクリメンタルオプティカルフィルター機構には無視されますが、リードヘッド内のスプリットフォトディテクターにより検出されます。検出とゲート回路のレベルを適正に維持することにより、あらゆる速度で各単位の分解能と両方向の繰返し再現性を備えたリファレンスマーク出力が得られます。取付時には、インターフェース内のロジックにより、アナログチャネルに対する位相の較正が自動的に行われます。このロジックは、システムのモニターとセットアップサポートも提供します。