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RPI20 パラレルインターフェース

RLE システムは、1 Vpp の Sin/Cos 信号を直接生成することができ、その公称信号周期はシングルパス反射鏡用干渉計で 316nm、ダブルパス平面鏡用干渉計で 158nm となっています。

RPI20 インターフェースはこれらの信号を処理して、超高分解能（4096 倍の内挿分割）の位置決めフィードバックをパラレルワードフォーマットで出力します。

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機能とメリット

  • 4096 倍の内挿分割2 軸 VME
  • アナログ入力帯域幅 6.5 MHz 未満
  • 36 ビットのパラレルフォーマット出力
  • 1 バスにつき最大 7 軸が可能
  • 出力分解能をスイッチで選択可能
  • アドレス指定可能なレジスターにより次のデータを取得：
    • 位置データ
    • リサジュ座標、レーザー信号強度、システムステータスを含むカードのステータス
  • 110mm x 72mm というコンパクトな基板サイズ
  • RPI20 を VME システムアーキテクチャで使用できるようにするためのオプションの2軸 VME ホスト基板

仕様

分解能38.6 ピコメートル（平面鏡システム）
77.2 ピコメートル（反射鏡システム）
最大速度1m/s（平面鏡システム）
2m/s（反射鏡システム）
出力信号36 ビットパラレルワード

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