RLE システムの概要

レニショーの干渉計を利用した RLE エンコーダシステムは、従来のテープスケールまたはガラススケール等のエンコーダのような使いやすさと、干渉計の位置決め精度を同時に実現します。

このシンプルなシステムは光ファイバ送出システムを使用して実現したもので、レーザー光線を計測軸に直接照射するため、複数の部品からなるビームベンダー、ビームスプリッターや調整式取り付け台を準備する必要がなくなりました。 干渉計システムの構造をこのように変革したことにより、フットプリントとコストの低減を図りながら、システムを数分間で取り付けることができるようになりました。

各 RLE システムは、RLU レーザーユニットと RLD10 ディテクターヘッドという 2 つの主要パーツから構成されます。 これらの主要コンポーネントは、必要な構成に合わせて様々なものを用意しています。 レニショーでは、シングルパスディテクターに組み込む反射鏡や、ダブルパス用のミラーとミラーマウントも提供しています。

レニショーは、1985 年からホモダイン干渉計の分野で活躍してきました。

弊社の最初のレーザーエンコーダ製品である HS10 長距離レーザースケールは、レーザーフィードバックソリューションの特別なリクエストを受けて 1994 年に発売されました。世界中の過酷な製造現場で性能が立証された HS10 は、様々な長軸工作機械アプリケーションに第一に選ばれる干渉計ソリューションとなりました。

続いて小型の形状機に応用範囲を拡大するために、干渉計のパフォーマンスレベルとエンコーダの簡素性をかね合わせた RLE レーザーエンコーダが開発されました。第一世代の RLE10 は 2001 年に発売され、それ以来、追加のレーザー光源や干渉計構成とインターフェースが導入されています。

RLU レーザーユニット

1 軸、あるいは 2 軸構成の RLU レーザーユニットには、HeNe（ヘリウム / ネオン）レーザー光源、安定化電子回路、光ファイバ送出機構、および軸の位置決めフィードバック回路が組み込まれています。 RLU レーザーユニットには、1 時間で ±50ppb の周波数安定性を備える RLU10（全 RLE10 システムに使用）と、1 時間で ±2 ppb の周波数安定性を備える RLU20（全 RLE20 システムに使用）という 2 つの周波数安定性仕様があります。

標準システムは、RLU レーザーユニットと 3m の光ファイバケーブルで接続されます。 RLE10 システムには、ご要望により6m のケーブルでも販売しております。

 

出力方向 0°の RLD10 ディテクターヘッド

シングルパス干渉計かダブルパス干渉計（それぞれ反射鏡と平面鏡のアプリケーション用）、レニショー独自のマルチチャネル干渉縞検出機構、レーザーシャッター、ビームステアラを内蔵しています。

干渉計を内蔵しない出力方向 0°のディテクターヘッドも提供できます。 この構成を使用すれば、キャリブレーション部門で販売している位置決め、角度、真直度の光学部品と合せて RLE システムを使用できます。

 

出力方向 90°の RLD10 ディテクターヘッド

シングルパス干渉計かダブルパス干渉計（それぞれ反射鏡と平面鏡のアプリケーション用）、レニショー独自のマルチチャネル干渉縞検出機構、レーザーシャッター、ビームステアラを内蔵しています。 このディテクターヘッドは上下どちらの面でも取り付けが可能で、この場合には 90°か 270°のビーム出力方向が得られます。

 

RLD10 DI（ディファレンシャル干渉計）ディテクターヘッド

ディファレンシャル差動計測用干渉計（カラムリファレンス）光学部品、レニショー独自のマルチチャネル干渉縞検出機構、さらに参照ビームと計測ビームに対してピッチとヨーの調整を個別に行うビームステアラが組み込まれています。

注意: RLD10 DI ディテクターヘッドは、平面鏡アプリケーションのみに使用することができます。

RPI20 パラレルインターフェース

ディファレンシャルのアナログ信号 1 Vpp Sin/Cos を受信し、4096 倍の内挿分割を行い、位置決めデータを 1m/s の速度で 38.6 ピコメートルの分解能と最大 36 ビットのパラレルフォーマットにより出力します。 詳細および仕様については、アクセサリを参照してください。

 

RCU10 リアルタイム環境補正システム

環境センサーを通じて機械の周囲環境をモニターし、リアルタイムで位置決めフィードバック信号の補正を行います。 詳細および仕様については、アクセサリを参照してください。