RGH25F UHV 真空対応型リニアエンコーダ

レニショーの RGS20-S テープスケールに使用できる RGH25F UHV リニアエンコーダリードヘッドは、超真空条件で高精度の直接位置決めフィードバックを提供します。現場での長年にわたる使用においてその性能が立証されている RGH25F UHV は、妥協を許さない高性能と信頼性が求められる半導体や科学装置の製造に世界的に活用されています。

REF インターフェースに対応

RoHS に準拠する REF インターフェースは、性能と長期的信頼性を更に改善するために RGB と RGF シリーズをアップグレードしたもので、ダイナミック信号処理と最高 5nm の分解能を提供します。

RGH25F UHV リードヘッドは、低いガス放出率のために特別に選択された構造材と接着剤を使用して、専用のクリーンルームで製造されています。その後、完成した製品を真空対応の袋に密閉包装して、製品を清潔に保っています。

真空対応のテープスケール

RGS20-S テープスケールは、繰返し精度の高い計測基準として使用でき、Invar®、Zerodur®、ステンレススチール、アルミニウムなど、半導体や科学産業で一般的に使用される工業材質に取り付けることができます。スケールの両端を推奨エポキシ接着剤で機材に固定すると、スケールが機材の熱膨張率に対応して、機材自体に目盛りが付けられているように動作します。

残留ガス分析（RGA）のテスト結果

独立機関によって実施された残留ガス分析（RGA）のテストの結果、システム全体が清潔な真空状態への使用に適していることが立証されています。さらに、超真空状態における 120 ℃のベーキングにも最適です。この一般的なアプリケーションとしては、ウェハー処理/検査や科学研究が考えられます。

RGH20F リードヘッドの RGA スペクトルの結果

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RGS リニアゴールドテープスケールの RGA スペクトルの結果

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Invar® は、Arcelor Mittal の登録商標です
Zerodur® は、Schott AG の登録商標です