 | RGH20F UHV 真空対応型ロータリー（角度位置決め用）エンコーダレニショーの RESR リングに使用できる RGH25F UHV 角度位置決め用エンコーダリードヘッドは、超真空条件で高精度の直接位置決めフィードバックを提供します。 現場での長年にわたる使用においてその性能が立証されているこれらのリードヘッドは、半導体や科学装置の製造に世界的に活用されています。
REF インターフェースに対応
RoHS に準拠する REF インターフェースは、性能と長期的信頼性を更に改善するために RGB と RGF シリーズをアップグレードしたもので、ダイナミック信号処理と最高 0.05 角度秒の分解能を提供します。 RGH20F UHV リードヘッドは、低いガス放出率のために特別に選択された構造材と接着剤を使用して、専用のクリーンルームで製造されています。その後、完成した製品を真空対応の袋に密閉包装して、製品を清潔に保っています。 レニショーの RESR ロータリーリングRESR リングは、コーティングのない 300 シリーズの一体型ステンレススチールから作られているため、必要に応じて特殊なクリーニングやグリース除去を行うことができます。狭い断面のこのリングは大きな内径を備えているため、質量とイナーシアを低く抑えながら設計を簡素化できます。このリングはレニショーの特許技術であるテーパー固定方式を採用しているため、微調整を簡単に行うことができ、広い温度範囲にわたって高い安定性を提供します。UHV アプリケーション用の RESR リングには 52mm から 550mm までの一連の直径をご用意していますが、ご要望によってカスタムサイズとより大きな直径も承ります。 残留ガス分析（RGA）のテスト結果独立機関によって実施された残留ガス分析（RGA）のテストの結果、システム全体が清潔な真空状態への使用に適していることが立証されています。さらに、超真空状態における 120 ℃のベーキングにも最適です。この一般的なアプリケーションとしては、ウェハー処理/検査や科学研究が考えられます。 RGH20F リードヘッドの RGA スペクトルの結果
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RESR リングに使用できる RGH20F UHV ロータリー（角度位置決め用）エンコーダリードヘッドは、超真空条件で高精度の直接位置決めフィードバックを提供します。現場での長年にわたる使用においてその性能が立証されている RGH20F UHV は、妥協を許さない高性能と信頼性が求められる半導体や科学装置の製造に世界的に活用されています。
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