RCU10 リアルタイム環境補正システム

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RCU10 compensator unit and sensors レーザー干渉計システムを真空以外の環境で使用する場合は、環境の変化が起こった場合においても精度を維持できるよう、何らかの方法で屈折率補正を行う必要があります。これは、干渉計の原理がレーザー光線の波長に依存しており、レーザー波長は、ビームが通過する空気の屈折率によって異なるためです。

±1 ℃の気温変化、±3.3mbar の気圧変化、50% の湿度の変化などの環境変化により、レーザー波長に 1ppm の変化が発生します。

環境要因の変化を補正するために、レニショーでは、RCU10 リアルタイム環境補正システムを用意しています。RCU10 システムには、次のコンポーネントがあります。

  • RCU10 補正装置。気圧センサーを内蔵したもの(RCU10-PX-XX)としないもの(RCU10-XX-XX)を用意しています。
  • 気温センサー
  • 物体温度センサー
  • 各種オプションコンポーネント

多軸システムには、高速シリアル通信リンクにより最高 6 台の RCU10 をリンクできます。多軸システムに組み込む場合に必要な RCU10-PX-XX は、1 台のみです。

RCU10 part number generatorを使用すれば、個々のアプリケーションに必要な補正システムのパーツ番号を確認できます。グレーのセルにデータを入力するだけで、必要なシステムのパーツ番号が自動的に計算され、この情報を見積りと発注に使用していただくことができます。

機能とメリット

  • 精度
    気圧、温度センサーを使用したレーザーエンコーダの屈折率補正により、精度を ±1ppm 以内に改善
  • 生産性の向上
    物体温度センサーを使用したワークと機械構造の熱膨張補正により、プロセスの繰返し精度を大幅に改善
  • フレキシビリティ
    デジタル矩形波フィードバック信号を提供する多くのレーザーおよびスケールエンコーダに補正機能を提供

仕様

主な特長 屈折率補正
物体の膨張補正
精度 ±1ppm*
データ形式 デジタル - RS422 矩形波
アナログ - 1 Vpp Sin / Cos
分解能 デジタル - 10nm までで可変
アナログ - 20µm までで可変
計測速度 最高 5m/s

* デジタル出力には±3 以上の入力カウントと±1 以上の出力カウントが加わります。アナログ出力は、速度に追従したエラーがあります。

RCU10 リアルタイム環境補正システムには、いくつかのオプションも用意されています。

A-8014-0670 シリアル / USB アダプタ
RCU10-DB-XX センサー分配ボックス
RCU10-AC-X5 センサーケーブル(長さ 5m)
RCU10-VA-XX センサー真空アクセサリーキット
A-9904-1711 センサー真空コネクターアセンブリ
A-9904-1712 センサー真空密閉キット(スペア ×5)

お問い合わせ

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