AFM ラマンシステム

ナノスケールの理解を深める

レニショーの開発した最適なダイレクトカップリング技術により inVia ラマンマイクロスコープ と各種SPMが複合できるため、TERS測定（Tip Enhanced Raman Spectroscopy）、Near-Field測定（SNOM、NSOM）、ラマンとAFMの同時測定が可能です。

inVia ラマンマイクロスコープは、NT-MDT および Nanonics Imaging Ltd 社製のSPM または AFM と複合したシステムを提供しています。スキャナを搭載した完全統合システムを用意しています。

研究および産業向けのナノテクノロジーの画像表示と解析システム

生産性の向上

NT-MDT および Nanonics Imaging Ltd 社製のAFMを搭載した複合システムを提供できるのは、レニショーだけです。レニショーの AFM ラマンシステムは、次のメリットを備えています。

• 複合システムによる効率化 - ハードウェアとソフトウェアが統一されているため、データ取得と分析が簡便です。
• 高速データ取得- サプルとラマン分光装置のダイレクトカップリング方式により、あらゆる構成を短時間で最適化できます。
• 安心できるエキスパート技術 - 半導体装置上で初めての TERS 測定（2001 年に発表）とラマン AFM/NSOM 測定（1995 年に発表）はレニショーのラマンシステムを用いて行われました。
• ユーザーが選択 - レニショーでは、ユーザーが選択した SPM システムを統合できる経験と技術を備えています。

レニショーラマン SPM システムとは？

AFM とラマン
高空間分解能のスキャニングプローブデータと、Far-Field(通常サブミクロン単位の分解能）データの両方を取得できます。これにより、正確な表面形状測定と、AFMプローブのフィードバック機能により高空間分解能なラマンマッピング測定（標準分解能:0.5µm）が可能になります。

グラフェンサンプルのラマン分析（右の画像を参照）では、単層と二層領域を含む、グラフェンの 5 層の厚さが示されています。SPM 測定のガイドとしてラマンデータを使用することで、対象領域の特徴、キャパシタンス、伝導測定が可能になります。

TERS(Tip Enhanced Raman Spectroscopy)
AFMプローブの先端に金属粒子を着けてサンプル表面にコンタクトすると、表面増強ラマン効果(SERS)により、φ100nm以下のTERS測定が可能です。この構成では、ラマン技術による最高空間分解能が得られます。

TERS は、高空間分解能・高感度で、層状の材料を測定可能です。右に示した図は、SiGe 上の薄いシリコン層のNear-Field測定（TERS)とFar-Field測定を比較したものです。TERS の優れた表面増強効果により、より明確なシリコンラマンバンドを取得できます（バルクの SiGe ラマンバンドよりも低いラマン周波数において）。

レニショーでは、ナノスケールでの測定、または inVia ラマンマイクロスコープと SPM または AFM モデルの統合についてご説明しますので、オンラインリクエストフォームに必要事項をご記入の上お送りいただくか、日本のラマン担当者までお問い合わせください。