平面鏡とミラーマウント

RLE 干渉計を取り付けるは、ターゲット光学部品が不可欠な要素となります。

反射鏡用 RLD ディテクターヘッドを組み込んだ RLE システムには、必要な反射鏡ターゲット光学部品が既に含まれています。平面鏡用の RLD ディテクターヘッドには、平面鏡とミラーマウントが必要になります。

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平面鏡は、そのカスタム構成と寸法のために、特注でのみ承っています。下記のデータシートの仕様を参考にして、各地で調達していただくことも可能です。

ディファレンシャル干渉計を使用する場合、モーションシステムと、コラムやツールなどの固定参照ポイントに平面鏡ターゲット光学部品が必要になります。)

平面鏡

取り付け位置が示された平面鏡 レニショーの平面鏡は、Zerodur®(または同様の低膨張率)機材から製造され、硬質酸化誘電体コーティングが施されています。レニショーでは、次のサイズのミラーをご用意しています。

断面25 mm x 25 mm
オプティカルアパーチャ60mm ~ 300mm(10mm 単位)

平面鏡仕様の概要

局部平面度幅 12mm×高さ 7mm の領域で λ/10 未満
合計平面度λ/10
鏡面コーティング硬質酸化誘電体
反射率 > 97%
動作時温度0 ℃ ~ 40 ℃

ミラーマウント

レニショー RAM10 ミラーマウント ミラーを固定し、モーションシステムに正確にアライメント調整するために、レニショーでは調節式マウントを提供できます。これは、350mm までの長さで、25mm x 25mm の断面のミラーに使用できます。

これらのマウントでは、±2.5°までのヨー調節と ±1°のピッチ調節を行うことができます。(調整できる実際の範囲は、ミラーの長さに依存します。)

レニショーのミラーマウントは、真空環境では使用できません。

 

Zerodur® は、Schott Glass Technologies Incorporated の登録商標です。

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