平面鏡とミラーマウントRLE 干渉計を取り付けるは、ターゲット光学部品が不可欠な要素となります。 反射鏡用 RLD ディテクターヘッドを組み込んだ RLE システムには、必要な反射鏡ターゲット光学部品が既に含まれています。平面鏡用の RLD ディテクターヘッドには、平面鏡とミラーマウントが必要になります。 平面鏡は、そのカスタム構成と寸法のために、特注でのみ承っています。下記のデータシートの仕様を参考にして、各地で調達していただくことも可能です。 ディファレンシャル干渉計を使用する場合、モーションシステムと、コラムやツールなどの固定参照ポイントに平面鏡ターゲット光学部品が必要になります。) 平面鏡
平面鏡仕様の概要
ミラーマウント
これらのマウントでは、±2.5°までのヨー調節と ±1°のピッチ調節を行うことができます。(調整できる実際の範囲は、ミラーの長さに依存します。) レニショーのミラーマウントは、真空環境では使用できません。
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