性能と試験

レニショーの計測システムには、測定とレーザー干渉計におけるレニショーのすべての経験が結集されています。 その目的は、指定された精度と完全なトレーサビリティに加え、システムが現場で常にその精度を維持するという安心感をお届けすることです。

すべてのレーザーとボールバーは出荷前に、国内規格に準じたトレーサビリティのリファレンスシステムを用いて校正されています。

システム性能

性能仕様は、システム誤差に対する国際規格手順によって検証されており、システム精度は確度 95%（K=2）で、環境動作範囲全体にわたって有効です。

信頼性のある正確な波長補正を行わない場合、通常 20ppm ～ 30ppm の誤差が発生します。 レニショーでは、 XC-80 補正ユニットとセンサーがシステムの全動作範囲において高精度を維持するよう、最大限の努力が払われています。 これにより、0 ℃～ 40 ℃と全気圧範囲において、±0.5ppm の位置決め測定精度を維持しています。

 

位置決め測定範囲	80 メートル
位置決め測定精度	±0.5ppm
位置決め測定の周波数確度（1 年）	±0.05ppm
分解能	1nm
最大移動速度	4 m/s
動的取得速度	10 Hz - 50 kHz *
予熱時間	6 分未満
仕様温度確度範囲	0 °C ～ 40 °C
保管温度	-25 °C ～ +70 °C

環境センサーの性能

センサ	測定範囲	精度
物体温度	0 °C ～ 55 °C	±0.1 °C
気温	0 °C ～ 40 °C	±0.2 °C
気圧	650 mbar ～ 1150 mbar	±1 mbar
相対湿度 (%)	0～95%（結露なし）	±6% RH

 * 12種類の既定取得速度から選択

測定性能

各測定オプションの測定仕様については、測定光学部品セクションを参照してください。

システム仕様

レニショーでは継続的な製品改善の方針を掲げています。 ここに記載された仕様には、できる限り正確を期しています。 しかし、レニショーでは製品の外観と仕様を予告なく変更することがあります。必ずお問い合わせの際に詳細をご確認ください。

厳格な試験にもとづく信頼性

すべての新しいレーザー（XL-80）の周波数、精度、安定性、および環境補正ユニット（XC-80）の検出、補正精度は、レニショーからの出荷時に、公表された仕様（位置決め測定精度 ±0.5ppm）を満たすことが保証されています。

レニショーでは、厳格な試験と検証可能な仕様にもとづき、システム精度仕様や証明とトレーサビリティに関して、正確な情報を公表しています。 レーザーのシステム精度に関しては、些細な点も重要になります。 レニショーでは、お客様からお問い合わせがあれば詳細をご説明します。

校正証書

すべてのレーザーと補正ユニット（センサーを含む）、およびボールバーシステムには、次の内容が記載された総合校正証書を付けてお届けします。

• テスト結果のグラフィック表示（調整と修理が必要な場合は完了後のもの）、および仕様値
• テスト結果表
• 校正プロセスの説明
• トレーサビリティデータ（使用基準と校正の詳細）
• システム全体精度の声明

レーザー、センサー（および両ユニット間のデジタル通信）それぞれの校正証書を作成しているため、いずれかを変えてもシステム全体の精度保証は維持されます。

レニショーでは、これらの証書が品質保証システムに準拠する上で重要な文書になることを認識しています。証書は ISO 17025 の要件に準拠しています。

計測のトレーサビリティとレニショーの品質システムの詳細については、品質セクションを参照してください。

立証された性能

レニショーの ML10 システムの性能仕様は、過去 15 年間にわたり、英国国立物理学研究所（NPL）でお客様の機器に対して実施された数々の校正によって立証されています。 次のグラフは、この期間中に NPL で行われた ML10 システム（ML10 および EC10 環境補正装置）に対する 79 件の校正結果のすべてを示すものです。 ここには、システムの位置決め測定偏差の測定結果がゼロ付近に集中し、システム精度（測定の不確定性を含む）がレニショーの公表仕様範囲内であることが明確に示されています。

すべての XL-80 システムは、同様に設計、製造、試験が行われており、レニショー製品を使用すれば、確信を持って保証された仕様値とシステム性能をご利用いただけます。