位置決め（反射鏡）システム

位置決め用の RLE システムは、RLU レーザーユニットと（通常）ターゲット光学部品として反射鏡を使用するように設計された RLD10 ディテクターヘッドで構成されます。 レーザーユニットは操作環境に応じて選択しますが、RLU20 は、特に真空環境や空調管理された環境でのアプリケーションに適しています。 RLU10 レーザーユニットは RLE10 システムに使用し、RLU20 レーザーユニットは RLE20 システムに使用します。

ディテクターヘッドは、ビーム出力方向が 0°のものと 90°のものをご用意しています。

位置決めソリューションとして、ターゲット光学部品に平面鏡を使用するディテクターヘッドも使用できます。 これにより出力分解能は向上しますが、計測軸長は 1m までに短縮してしまいます。

仕様

真空以外の環境でのアプリケーションには、環境の変化が起こった場合においても精度を維持できるよう、何らかの方法で屈折率補正を行う必要があります。 レニショーでは、これらの変化に対して補正を行うために、RCU10 リアルタイム環境補正システムを用意しています。

RLE システムと RPI20 パラレルインターフェースを組み合わせることによって、分解能を 38.6 ピコメートルにまで高めることができます（平面鏡システム構成）。 高分解能のデジタル出力を得るには、レニショーのREEシリーズのインターポレータを使用することで、最高 0.395 nm の分解能を得ることができます（平面鏡システム構成）。 このインターフェースは、ディファレンシャルのアナログ信号 1 Vpp Sin/Cos を受信し、パラレルフォーマットで出力を行います。 RLE システムに使用できる RCU10 補正システム、RPI20、REE およびその他の補助装置については、アクセサリを参照してください。