レーザーエンコーダ

レーザー干渉計エンコーダは、超高精度の位置決めフィードバック性能を提供します。レニショーは、ホモダイン干渉計の分野をリードしており、システム技術に加え、機械計測アプリケーションノウハウにおいても 25 年近くの経験を蓄積しています。

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レニショーの HS10 長距離レーザーエンコーダは、1994 年から 60m までの計測軸に使用されています。2001 年に取り扱い範囲を拡張し、特許を取得した独自の「リモート」なレーザー光源である光ファイバー接続ヘッドを使用して、RLE レーザーエンコーダシリーズが製品として加わりました。このシステムには、定期的に更新が加えられ、オプションのレーザー光源、干渉計構成、リアルタイム環境補正補正に加え、さまざまな信号インターフェースが追加されてきました。

RLE システムは、世界中の多くの半導体製造機に加え、その他各種の短距離アプリケーション(4m 以下)にも利用され、以前では搭載できなかったようなアプリケーションでも、干渉計のメリットを活かした機能と能力を活用できるようになっています。

レニショーでは幅広い非接触光学式エンコーダと非接触磁気式エンコーダをご用意しています。