レーザーエンコーダ
HS10 長距離レーザーエンコーダは、1994 年から最高 60m までの計測軸に使用されてきました。 2001 年からは、特許を取得した独自の「リモート」なレーザー光源である光ファイバー接続ヘッドを使用して、RLE レーザーエンコーダシリーズが製品として加わりました。 このシステムには、定期的に更新が加えられ、オプションのレーザー光源、干渉計構成、リアルタイム環境補正補正に加え、さまざまな信号インターフェースが追加されてきました。 RLE システムは現在、世界中の多くの半導体製造機に加え、その他各種の短距離アプリケーション(4m 以下)にも利用され、以前では搭載できなかったようなアプリケーションでも、干渉計のメリットを活かした機能と能力を活用できるようになっています。 | ||||