 | 干渉計について
レニショーの工作機械性能計測システムは、位置決め測定に限らず、すべての測定モードに遠隔式干渉計を使用すると共に、高精度の安定レーザー光源を使用して最高の精度を実現しています。 干渉計の歴史干渉計 - 究極の測定基準
環境補正
次のようにわずかな変化でも、レーザー波長（および測定される長さ）が 0.25ppm 上昇します。 気温が 0.26 ℃上昇 気圧が 0.83 ミリバール減少 相対湿度が 29% 上昇（40℃で） 信頼できる正確な波長補正を行わない場合、位置決め測定値に通常 20ppm ～ 30ppm の誤差が発生します。 環境補正ユニットを使用すれば、様々な条件にわたって XL-80 と ML10 の測定精度を維持することができます。 注：レニショーのレーザーシステムを使用した角度測定と真直度測定に、環境補正は必要ありません。 これは近づけた 2 本のビームパスの差からこれらの測定値を計算するためで、この場合には環境要因の影響が及びません。 割り出し角度、平面度、直角度測定にもこれらの測定方法が使用されるため、環境補正は必要ありません。
遠隔式干渉計一部の他社システムは、レーザーヘッド内に干渉計とビームスプリッターを配置しています。 レーザーに干渉計を固定した場合、レザーヘッドの熱膨張により、高精度の測定を行う前に長いウォームアップ時間が必要になります。 レニショーでは、ビームスプリッターを外に配置することで、常に高精度測定が行えることを保証しています。 （後述のテクニカルペーパーを参照ください。）
レニショーの干渉計の系図
2007 年には、非常にコンパクトで可搬性に優れた使いやすいパッケージに、拡張された測定性能（±0.5ppm、50 kHz、4 m/s）を搭載した XL-80 レーザーシステムが新しく加わりました。これにより、レーザー干渉計のメリットをより多くのユーザーの方々にお届けできるようになりました。 1994 年に、レーザーフィードバックソリューションへの特別な要求を受けて、弊社の最初のレーザーエンコーダ製品、HS10 長距離レーザーエンコーダが発売されました。 続いて小型の機械に応用範囲を拡大するために、干渉計のパフォーマンスとエンコーダの簡素性をかね合わせた RLE レーザーエンコーダが開発されました。 第一世代の RLE10 は 2001 年に発売され、以来さらに開発が行われています。 これらの製品の詳細については、このウェブサイトのレーザーエンコーダセクションを参照ください。
仕様レニショーでは継続的な製品改善の方針を掲げています。 ここに記載された仕様は、できる限り正確を期しています。 しかし、レニショーでは製品の外観と仕様を予告なく変更することがあります。必ずお問い合わせの際に詳細をご確認ください。 お問い合わせ詳細 や価格についてのお問い合わせは、オンラインでお寄せ下さい。直接コンタクトをご希望の場合は、 現地レニショーオフィスまでご連絡ください。 |
レーザー干渉計は、距離を高精度で測定する上で、確立された手法です。
光干渉の原理を測定ツールに利用する方法が最初に示されたのは、1880 年代にさかのぼります。 以来、この技術は長年にわたって改良されてきましたが、正確に定義され、安定した非常に小さな光の波長を測定単位として使用する基本原理は、現在も変わりません。
レーザーユニットがどれほど優秀でも、つまりどれほど精度と安定性が高くても、気温、気圧、および相対湿度が「標準」値と異なる場合は、空気中を通過するレーザー光線の測定波長が変化します。
レニショーでは、20 年以上にわたってレーザー干渉計システムの設計、製造、および販売を行ってきました。 その ML10 レーザーシステムは、使用時の精度と信頼性により業界の標準となっており、±0.7ppm の位置決め精度を実現します。 この装置は、可搬性に優れた高精度の機械較正計測システムとして、世界をリードしてきました。