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このセクションには、よく聞かれる質問に対するアドバイスをまとめています。 考えられる質問を全て網羅したものではありませんが、軽度の技術問題が発生した場合の解決方法として参照していただけます。弊社のアプリケーション / カスタマーサポートエンジニアに連絡が取れない場合等にお役立てください。

20nm の出力分解能を得るように RLE システムを設定しています。 出力は 20nm ちょうどですか。

RLE システムの実際の出力分解能は、レーザーの基本波長値を分割して算出します。

各分解能設定に対する実際の出力分解能を算出するためのレーザー波長の分割数を下表に示します。

分解能設定(nm) 分割数 実際の分解能(nm)軸 1、常温常圧値 実際の分解能(nm)軸 2、常温常圧値
633 1 632.818270 632.819719
613 2 316.409135 316.409860
158 4 158.204567 158.204930
79 8 79.1022837 79.1024649
39.5 16 39.5511418 29.5512324
20 32 19.7755709 19.7756162
10 64 9.88778546 9.88780811

しかし、システムに RCU10 環境補正システムを搭載している場合、実際に得られる出力分解能は、設定プロセスで選択した分解能値そのままで使用することができます。 これは、RCU10 ユニットがパルスの加減を行うためです。

 

RLE システムを設定したのに、レーザーが安定せず、すべての LED が赤く点灯しています。 レーザーユニットが故障しているのでしょうか。

最初にRLU前面のディップスイッチをチェックしてください。 下側または「オン」位置に設定しているスイッチの数が偶数である必要があります。 現在の構成で奇数のスイッチがオンになっている場合は、スイッチ番号 16 をオンにします。これはパリティスイッチで、アプリケーションの構成により奇数のスイッチをオンにする必要がある場合でも、偶数のスイッチをオンにできるようにするための安全機能です。

これで問題が解決されない場合、すべてのスイッチを「オン」位置に設定します。 アプリケーションに適した設定ではなくても、故障していない限りは、この構成設定でレーザーが機能するはずです(ディテクターヘッドがターゲット光学部品と正確にアライメント調整されていることを前提としています)。 この設定でレーザーが安定化 / 機能しない場合、レーザーユニットが故障していると考えられます。レニショーの各国代理店に連絡して、システムの返送と交換方法についてご相談ください。

 

RLE システムの電源を入れたのに、レーザーステータス LED が赤く点灯したままです。 何が悪いのでしょう。

RLD10 のすべてのファイバーとケーブルが正しく差し込まれていることを確認します。 接続に問題がないのに、レーザーステータス LED が赤く点灯したままの場合は、RLE に 24V の電源が正しく供給されていることを確認します。

 

RLE システムのレーザーステータス LED が緑に点灯しているのに、軸 1 / 軸 2 の LED が緑になりません。 なぜでしょうか。

これにはいくつかの原因が考えられます。

  • 最初に、ファイバーが RLD10 に正しく差し込まれていることを確認します。 ファイバーバレルの白い線をディテクターヘッドの位置合わせ点に合わせます。 バレルを完全に差し込み、内側に固定されるまでどちらかの方向にわずかに回します。 2 軸システムの場合は、各 RLD10 が正しいチャネルに取り付けられていることも確認します。
  • アラームがオートリセットに設定されていない可能性があります。 スイッチ 13 が「オン」位置になっていることを確認します。
  • 「オン」位置に設定しているスイッチの数が偶数であることを確認します。 システム構成により奇数のスイッチをオンにする必要があれば、スイッチ 16 のパリティスイッチをオン位置にしてください。

 

常に RLE システムのRLDのアライメント調整を何度も行わなくてはなりません。 なぜでしょうか。

バレルの固定ネジをしっかりと固定し、ディテクターヘッド内でファイバーバレルが動かないようにしてください。

 

Sin/Cos 出力の方向を変更できません。 なぜでしょうか。

このスイッチは、RLE をデジタル出力に設定している場合にのみ有効になります。 システムがアナログ出力の設定になっている場合、方向を変更することはできません。

 

システム仕様に示された分解能が得られません。 RLE システムで得られる最高分解能は、ターゲット光学部品として平面鏡を使用した場合 39.5nm で、反射鏡を使用した場合は 79nm です。 何が悪いのでしょう。

高分解能出力データを獲得するためには、スイッチ 12 を「オン」位置にする必要があります。

 

RLD10 ディテクターヘッドのピッチを調整しようとしていますが、ステアリング機構を回すことができません。

ピッチを調整する前に、RLD10 の固定ネジを緩めていることを確認してください。

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