ディファレンシャル干渉計

RLD10-X3-DI ディファレンシャル干渉計ディテクターヘッドにより、固定された参照ミラーと移動する計測ミラーの相対位置を計測できます。真空や空調管理された環境でのアプリケーションに特に適した RLD10-X3-DI ディテクターヘッドは、簡単な 3 ピンマウントによりプロセスチャンバーの外壁に取り付けるように設計されています。ディテクターヘッドのアライメント調整のためにチャンバー内にアクセスする必要はありません。内蔵のビームステアラにより、参照ビームと計測ビームに対してピッチとヨーの調整を個別に行うことができます。さらに、マウントシステムの設計により、ディテクターヘッドを外してから再配置しても、システムのアライメント調整にほとんど影響が及びません。

仕様

数値は、RLD10-X3-DI ヘッドに RLU20 レーザーユニットを使用した場合のものです。

機能とメリット

• 優れたメトロロジー
  ppb 級の周波数安定性と極めて低い周期誤差により、38.6pm の出力分解能が得られます。
• ディファレンシャル構成
  コラムに対するステージの相対位置や、ツールに対するワークの相対位置を計測し、環境要因の変化に伴うチャンバー壁の動きなどの同相モード誤差を排除します。
• 高速位置合わせ
  高速位置合わせ 4 本の内蔵ビームステアラを使用し、プロセスチャンバーの外から簡単にアライメント調整を実行（チャンバーとミラーの取り付け公差に対応するため、計測ビームと参照ビームに±1°のピッチとヨー移動）