AFM ラマンシステム

ナノスケールの理解を深める

AFM/ラマンの統合機器（「SPM ラマン」）を使用すると、従来の光学顕微鏡の回折限界を大幅に超えたサブミクロンオーダーの高空間分解能なラマン測定が可能となり、機能材料の化学特性や構造特性の分析にとても有用です。

レニショーでは、直接結合技術を開発し、各種 SPM に inVia ラマンマイクロスコープ を結合したことで、TERS（Tip Enhanced Raman Spectroscopy）、近接場光学技術（SNOM、NSOM）、およびラマン AFM 能力を提供できるようになりました。

inVia ラマンマイクロスコープは SPM または AFM に結合でき、NT-MDT および Nanonics Imaging Ltd 社製のスキャナを搭載した完全統合システムを用意しています。

研究および産業向けのナノテクノロジーの画像表示と解析システム

生産性の向上

NT-MDT および Nanonics Imaging Ltd 社製のスキャナを搭載した完全統合システムを提供できるのは、レニショーだけです。 レニショーの AFM ラマンシステムは、次のメリットを備えています。

• 統合システムにより効率を改善 - 機械とソフトウェアが既に統合されているため、データ収集と分析に集中できます。
• 高速データ収集 - サンプルとラマン分光装置を直接統合しているため、あらゆる構成で最適な効率が得られます。
• 安心できるエキスパートの技術 - 半導体装置上での初めての TERS 測定（2001 年に発表）とラマン AFM/NSOM 測定（1995 年に発表）はレニショーのラマンシステムを使用して行われました。
• ユーザーが選択 - レニショーでは、ユーザーが選択した SPM システムを統合できる経験と技術を備えています。

レニショーラマン SPM システムの効果

AFM とラマン
高空間分解能のスキャニングプローブデータと、ファーフィールド分解能（通常サブミクロン単位の分解能）の高速ラマン分光データの両方を取得できます。 これにより、正確な表面形状測定と、AFMプローブのフィードバック機能により高空間分解能なラマンマッピング測定（標準分解能:0.5µm）が可能になります。

グラフェンサンプルのラマン分析（右の画像を参照）では、単層と二層領域を含む、グラフェンの 5 種類の厚さが示されています。 SPM 測定のガイドとしてラマンデータを使用することで、対象領域の特徴、キャパシタンス、伝導測定が可能になります。

TERS(Tip Enhanced Raman Spectroscopy)
AFMプローブの先端に金属粒子を着けてサンプル表面にコンタクトすると、表面増強ラマン効果(SERS)により、極微細点(φ100nm以下)の増強ラマン測定が可能。 この構成では、ラマン技術による最高空間分解能が得られます。

TERS が備える優れた高空間分解能と高感度は、層状のサンプルを測定した場合に明らかにないｒます。 右に示した図は、SiGe 上の薄いシリコン層の近接上（TERS）とファーフィールドを比較したものです。 TERS の優れた表面測定感度により、より明確なシリコンラマンバンドを取得できます（バルクの SiGe ラマンバンドよりも低いラマン周波数において）。

レニショーでは、ナノスケールでの測定、または inVia ラマンマイクロスコープと SPM または AFM モデルの統合についてご説明しますので、オンラインリクエストフォームに必要事項をご記入の上お送りいただくか、日本のラマン担当者までお問い合わせください。

アプリケーション

レニショーラマンシステムによる多分野にわたるアプリケーションの紹介

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