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AFM ラマンシステム

ナノスケールの理解を深める

Raman and AFM images of a 60nm diameter silicon nanowire AFM/ラマンの統合機器(「SPM ラマン」)を使用すると、従来の光学顕微鏡の回折限界を大幅に超えたサブミクロンオーダーの高空間分解能なラマン測定が可能となり、機能材料の化学特性や構造特性の分析にとても有用です。

レニショーでは、直接結合技術を開発し、各種 SPM に inVia ラマンマイクロスコープ を結合したことで、TERS(Tip Enhanced Raman Spectroscopy)、近接場光学技術(SNOM、NSOM)、およびラマン AFM 能力を提供できるようになりました。

inVia ラマンマイクロスコープは SPM または AFM に結合でき、NT-MDT および Nanonics Imaging Ltd 社製のスキャナを搭載した完全統合システムを用意しています。

研究および産業向けのナノテクノロジーの画像表示と解析システム

  • 分子単位での物理特性の計測とサブミクロンオーダーの化学的分析
  • ラマンと AFM の同時測定により画像間の相関関係を保証
  • 単一プラットフォームソリューションで信頼性と使い勝手を向上

生産性の向上

NT-MDT and Nanonics logos NT-MDT および Nanonics Imaging Ltd 社製のスキャナを搭載した完全統合システムを提供できるのは、レニショーだけです。 レニショーの AFM ラマンシステムは、次のメリットを備えています。

  • 統合システムにより効率を改善 - 機械とソフトウェアが既に統合されているため、データ収集と分析に集中できます。
  • 高速データ収集 - サンプルとラマン分光装置を直接統合しているため、あらゆる構成で最適な効率が得られます。
  • 安心できるエキスパートの技術 - 半導体装置上での初めての TERS 測定(2001 年に発表)とラマン AFM/NSOM 測定(1995 年に発表)はレニショーのラマンシステムを使用して行われました。
  • ユーザーが選択 - レニショーでは、ユーザーが選択した SPM システムを統合できる経験と技術を備えています。

レニショーラマン SPM システムの効果

Raman image of multi-layered graphene sampleAFM とラマン
高空間分解能のスキャニングプローブデータと、ファーフィールド分解能(通常サブミクロン単位の分解能)の高速ラマン分光データの両方を取得できます。 これにより、正確な表面形状測定と、AFMプローブのフィードバック機能により高空間分解能なラマンマッピング測定(標準分解能:0.5µm)が可能になります。

グラフェンサンプルのラマン分析(右の画像を参照)では、単層と二層領域を含む、グラフェンの 5 種類の厚さが示されています。 SPM 測定のガイドとしてラマンデータを使用することで、対象領域の特徴、キャパシタンス、伝導測定が可能になります。

Tip-enhanced Raman spectrum of strained Si on SiGe TERS(Tip Enhanced Raman Spectroscopy)
AFMプローブの先端に金属粒子を着けてサンプル表面にコンタクトすると、表面増強ラマン効果(SERS)により、極微細点(φ100nm以下)の増強ラマン測定が可能。 この構成では、ラマン技術による最高空間分解能が得られます。

TERS が備える優れた高空間分解能と高感度は、層状のサンプルを測定した場合に明らかにないrます。 右に示した図は、SiGe 上の薄いシリコン層の近接上(TERS)とファーフィールドを比較したものです。 TERS の優れた表面測定感度により、より明確なシリコンラマンバンドを取得できます(バルクの SiGe ラマンバンドよりも低いラマン周波数において)。

レニショーでは、ナノスケールでの測定、または inVia ラマンマイクロスコープと SPM または AFM モデルの統合についてご説明しますので、オンラインリクエストフォームに必要事項をご記入の上お送りいただくか、日本のラマン担当者までお問い合わせください。

お問い合わせ

詳細価格についてのお問い合わせは、オンラインでお寄せ下さい。直接コンタクトをご希望の場合は、 現地レニショーオフィスまでご連絡ください。


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